完善的是中國MEMS產(chǎn)業(yè)鏈，也是IMT生意圈

　　MEMS，算是半導體產(chǎn)業(yè)中比較特殊的一個(gè)門(mén)類(lèi)。相比于CMOS工藝，MEMS工藝的集成度不僅是數量、規模上的，還具有另一個(gè)層面的意義——集成更多的器件類(lèi)型和結構功能。它是學(xué)科交叉的產(chǎn)物。MEMS和CMOS不同之處使得MEMS器件的大小差異可以很大，且沒(méi)有統一的工藝標準化，因此MEMS工藝可以達到而且需要達到很高的定制化需求。

圖1  IMT公司全球銷(xiāo)售副總裁Paul Pickering先生

　　IMT（Innovative Micro Technology, Inc.），是大部分國內半導體從業(yè)人員比較陌生是名字。IMT是一家以提供MEMS工藝研發(fā)、MEMS器件批量生產(chǎn)等服務(wù)為主的公司，目前是美國最大的純MEMS代工廠(chǎng)。IMT現在大約有110名員工，其中15%是PhD。要知道，一家公司要生產(chǎn)MEMS器件，必須要有電子、材料、機械、物理等多種不同學(xué)科的專(zhuān)門(mén)人才和跨領(lǐng)域人才。因此，IMT雖然員工數量并不多，但作為美國最大的純MEMS代工廠(chǎng)，IMT公司的人才構成應當是非常優(yōu)質(zhì)的。

　　雖然MEMS工藝是非標準化的，但現如今MEMS器件的應用卻越來(lái)越廣，涵蓋了汽車(chē)、生物醫藥、消費電子、工業(yè)、國防、光學(xué)等諸多領(lǐng)域。對IMT來(lái)說(shuō)，數量最大是生物醫藥相關(guān)的，最大的營(yíng)收則來(lái)自光學(xué)領(lǐng)域，約占總營(yíng)收的1/3。也正是由于MEMS工藝的非標準性，IMT公司全球銷(xiāo)售副總裁Paul Pickering先生介紹說(shuō)，IMT可以根據客戶(hù)的不同需求要來(lái)不斷修改、調整工藝參數，不僅可以提供批量生產(chǎn)服務(wù)，還能為客戶(hù)提供快速原型生產(chǎn)服務(wù)，幫助客戶(hù)更快地驗證自己的產(chǎn)品。目前，IMT已有6英寸生產(chǎn)線(xiàn)，正在建8英寸生產(chǎn)線(xiàn)，明年開(kāi)始運作。

圖2  IMT所生產(chǎn)的6英寸晶圓

　　值得注意的是，即便IMT已經(jīng)是美國最大的純MEMS代工廠(chǎng)，所擁有的技術(shù)也不容小看，但IMT毫無(wú)疑問(wèn)仍舊是MEMS領(lǐng)域的一個(gè)小公司，其中最重要的原因仍舊是MEMS工藝的非標準化。在半導體產(chǎn)業(yè)中，做MEMS器件設計的有不少是大型半導體公司，這些大型半導體公司大都擁有自己專(zhuān)門(mén)的MEMS工藝和生產(chǎn)線(xiàn)，因此，相比于CMOS工藝，MEMS的代工比例相對要小得多。

　　而最近，IMT這家在MEMS代工領(lǐng)域市場(chǎng)份額不算小的規模不算大的美國公司宣布與中國物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心（CIT-China）達成合作意向，以完善中國MEMS產(chǎn)業(yè)鏈——當然，從IMT的立場(chǎng)來(lái)說(shuō)，是拓展在中國的業(yè)務(wù)。有人或許會(huì )對IMT此時(shí)在中國市場(chǎng)擴張的策略產(chǎn)生質(zhì)疑：在中國政府大力扶持本土半導體產(chǎn)業(yè)，逐步縮窄外資企業(yè)生存空間的當下，IMT的方向是否是正確的？不幸的是，IMT的方向目前是正確的。為何要用“不幸”這樣的字眼？“不幸”說(shuō)的不是IMT，而是本土MEMS產(chǎn)業(yè)。目前有一個(gè)令人嘆息的現狀——本土MEMS產(chǎn)業(yè)無(wú)論是規模、設計能力還是制造技術(shù)，都與國際先進(jìn)水平有著(zhù)極大的差距，MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展水平要遠遠低于半導體產(chǎn)業(yè)的其它領(lǐng)域。

　　我認為，IMT拓展在中國的業(yè)務(wù)，對現階段的中國MEMS產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)是有不小的促進(jìn)作用的。IMT此次與CIT-China的合作主要是以MEMS開(kāi)發(fā)公共平臺為依托，一方面，IMT的進(jìn)入能為國內MEMS設計廠(chǎng)提供更多代工選擇，讓MEMS設計廠(chǎng)可以有更多檢驗設計的機會(huì )，另一方面，IMT的進(jìn)入也給本土MEMS代工廠(chǎng)帶來(lái)了競爭，迫使本土MEMS代工廠(chǎng)不斷創(chuàng )新發(fā)展。

圖3  IMT所生產(chǎn)的部分MEMS器件