資騰科技在Semicon China 2024展示ESG創(chuàng )新力，推出優(yōu)化半導體制程產(chǎn)品

佳世達集團羅升企業(yè)旗下資騰科技（Standard Technology Corporation）參加Semicon China 2024展覽，展示多項協(xié)助優(yōu)化半導體制程的創(chuàng )新產(chǎn)品，如超潔凈金屬氣體過(guò)濾器、超高精度光阻涂布泵等。該展覽于3月20日至22日在上海新國際博覽中心舉行，資騰科技的展位位于N3館3145號。資騰科技總經(jīng)理陳國榮表示，因應全球ESG、第三代半導體等趨勢需求，今年資騰科技將展示一系列針對半導體制造行業(yè)的創(chuàng )新產(chǎn)品，旨在提高制程效率、減少環(huán)境負荷，并支持產(chǎn)業(yè)的永續發(fā)展。以下是其中幾項亮點(diǎn)產(chǎn)品：

1.超潔凈金屬氣體過(guò)濾器：次世代奈米工廠(chǎng)必備，金屬燒結微米級不銹鋼（SUS 316L）短纖維制成薄層金屬膜過(guò)濾器，皺褶狀設計增加過(guò)濾面積。專(zhuān)為L(cháng)oad lock chamber排氣過(guò)濾而設，縮短排氣時(shí)間，提高機臺5-8%的稼動(dòng)率。

2.超高精度光阻涂布泵：適用于半導體黃光制程光阻涂布，以及其他需要精確控制藥液噴吐量的應用場(chǎng)景。幾乎零藥液浪費，可與半導體設備（如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等）匹配使用。提供氣缸式和馬達式控制，穩定性高且壽命長(cháng)。資騰提供在地實(shí)時(shí)服務(wù)支持。

3.非接觸型渦漩式吸筆：資騰自主研發(fā)，利用伯努利原理吸取薄片晶圓或是光學(xué)組件，避免晶圓或是光學(xué)組件表面刮傷，提高晶圓傳送效率和穩定性。具有客制化和價(jià)格優(yōu)勢，目前已有SiC與光學(xué)組件廠(chǎng)客戶(hù)銷(xiāo)售實(shí)績(jì)。

資騰科技充分考慮大陸市場(chǎng)特性和全球趨勢，針對ESG、第三代半導體、新建晶圓廠(chǎng)和設備國產(chǎn)化等領(lǐng)域提出不同的解決方案。通過(guò)強大的產(chǎn)業(yè)實(shí)踐經(jīng)驗和技術(shù)能力，與合作伙伴攜手，共同促進(jìn)半導體產(chǎn)業(yè)的創(chuàng )新未來(lái)。

【展覽信息】

SEMICON CHINA 2024 展覽時(shí)間

2024年3月20-22日 09:00am - 5:00pm

地點(diǎn): 上海新國際博覽中心

資騰展位: N3館Booth: 3145(靠近3號Entrance)