優(yōu)晶科技8英寸電阻法SiC單晶生長(cháng)設備通過(guò)技術(shù)鑒定

6月7日，蘇州優(yōu)晶半導體科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“優(yōu)晶科技”）宣布8英寸電阻法SiC單晶生長(cháng)設備獲行業(yè)專(zhuān)家認可，成功通過(guò)技術(shù)鑒定評審。

鑒定委員會(huì )認為，優(yōu)晶科技8英寸電阻法SiC晶體生長(cháng)設備及工藝成果技術(shù)難度大，創(chuàng )新性強，突破了國內大尺寸晶體生長(cháng)技術(shù)瓶頸，擁有自主知識產(chǎn)權，經(jīng)濟效益顯著(zhù)。

資料顯示，優(yōu)晶科技成立于2010年12月，專(zhuān)注于大尺寸（6英寸及以上）導電型SiC晶體生長(cháng)設備研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售。該公司于2019年成功研制出6英寸電阻法SiC單晶生長(cháng)設備，經(jīng)持續工藝優(yōu)化，目前已推出至第四代機型——UKING ERH SiC RV4.0電阻法SiC長(cháng)晶設備，可用于6英寸、8英寸量產(chǎn)。

據了解，此前4月，優(yōu)晶半導體最新出口至某國際知名客戶(hù)的大尺寸電阻法長(cháng)晶設備已順利通過(guò)驗收，標志著(zhù)優(yōu)晶科技國際業(yè)務(wù)取得突破。此次出口的SiC電阻法長(cháng)晶設備，是優(yōu)晶科技根據市場(chǎng)需求研發(fā)的第四代產(chǎn)品，設備的穩定性、可靠性、工藝水準均有提升。