據IBM官網(wǎng)消息,美國紐約州州長(cháng)宣布與IBM、美光以及其他行業(yè)參與者合作,投資100億美元在紐約州 Albany NanoTech Complex 建設下一代 High-NA EUV 半導體研發(fā)中心。
本文引用地址:http://dyxdggzs.com/article/202312/453846.htmIBM稱(chēng),這將是北美第一個(gè)也是唯一一個(gè)擁有高數值孔徑極紫外光刻(高NA EUV)系統的公共研發(fā)中心,可為開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)小于2nm的節點(diǎn)芯片鋪平道路。
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