先鋒半導體實(shí)現刻蝕機核心部件國產(chǎn)化，配套臺積電全球首條5nm產(chǎn)線(xiàn)

據泰州日報報道，靖江先鋒半導體科技有限公司實(shí)現了大規格集成電路晶圓刻蝕機核心部件國產(chǎn)化，并將配套全球首條5納米芯片生產(chǎn)線(xiàn)。

報道指出，先鋒半導體公司總經(jīng)理游利介紹，噴淋盤(pán)是芯片制造設備刻蝕機的主要部件，先鋒半導體產(chǎn)品將用于中微半導體公司生產(chǎn)的5納米刻蝕機，并應用于臺積電全球首條5納米制程生產(chǎn)線(xiàn)。

資料顯示，先鋒半導體成立于2008年，是一家從事半導體器件、集成電路專(zhuān)用設備及零部件、航空和高端裝備精密部件研發(fā)、制造、銷(xiāo)售、服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品主要應用在刻蝕機、鍍膜機等集成電路裝備，供應給國內外半導體行業(yè)OEM廠(chǎng)商，是中國半導體行業(yè)精密零部件的主要制造商。

2008年成立之初，先鋒半導體便與中國半導體設備知名廠(chǎng)商中微半導體展開(kāi)合作。2018年底，中微半導體突破歐美封鎖，成功研發(fā)出5納米芯片刻蝕機，其中的主要部件噴淋盤(pán)，就是先鋒半導體研發(fā)生產(chǎn)的。目前，先鋒半導體已成為中芯國際、中微半導體、北方華創(chuàng )、北方微電子等國內半導體企業(yè)的重要供應商。

游利表示，下一步，先鋒將在半導體裝備關(guān)鍵零部件國產(chǎn)化替代、本地化研發(fā)領(lǐng)域，堅定走“專(zhuān)精特新”發(fā)展之路。同時(shí)，瞄準行業(yè)前沿，用國際化的眼光對標、趕超行業(yè)先進(jìn)，致力打造全球有競爭力的精密制造專(zhuān)家。