北京首條MEMS芯片生產(chǎn)線(xiàn)投產(chǎn)

記者近日從經(jīng)開(kāi)區獲悉，亦莊企業(yè)賽微電子公司控股子公司投資建設的“8英寸MEMS國際代工線(xiàn)建設項目”正式通線(xiàn)投產(chǎn)運行，產(chǎn)能為1萬(wàn)片/月。這也標志著(zhù)北京首條商業(yè)量產(chǎn)、全球業(yè)界最先進(jìn)的8英寸MEMS芯片生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)入實(shí)際生產(chǎn)階段。據了解，該項目分期建設，最終完全達產(chǎn)后將形成3萬(wàn)片/月的生產(chǎn)能力。

“大家熟悉的生產(chǎn)線(xiàn)側重二維空間，不斷讓芯片變得更??；而MEMS屬于集成電路特色工藝，聚焦的是三維空間，芯片內部結構也縮小至納米量級，格外考驗芯片制造實(shí)力?！?a class="contentlabel" href="http://dyxdggzs.com/news/listbylabel/label/賽微電子">賽微電子董事長(cháng)楊云春介紹。微機電系統（MEMS）是指用微機械加工技術(shù)制作的包括微傳感器、微致動(dòng)器、微能源等微機械基本部分，以及高性能的電子集成線(xiàn)路組成的微機電器件與裝置。

業(yè)內認為，MEMS傳感器作為國際競爭戰略的重要標志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)難度高、特色工藝性強，市場(chǎng)前景廣闊等特點(diǎn)備受世界各國的關(guān)注?；趯κ袌?chǎng)需求前景及國內產(chǎn)業(yè)鏈現狀的判斷，賽微電子在經(jīng)開(kāi)區、相關(guān)基金等多方支持下，于2016年全資收購瑞典Silex。

“這代生產(chǎn)線(xiàn)是復刻了瑞典Silex的生產(chǎn)線(xiàn)，1萬(wàn)片的產(chǎn)能大概能貢獻約8億元營(yíng)收，同時(shí)對凈利潤也將有積極貢獻?！辟愇㈦娮佣?、副總兼董秘張阿斌表示。

進(jìn)入5G時(shí)代，下游的人工智能、萬(wàn)物互聯(lián)等對傳感器的需求將迎來(lái)井噴式的增長(cháng)。MEMS傳感器能夠以集成電路的方式來(lái)生產(chǎn)，將進(jìn)一步推動(dòng)傳感器革命，并大幅降低成本。

“目前這個(gè)行業(yè)的主要矛盾就是合格產(chǎn)能供應不足，根據對市場(chǎng)需求的判斷，公司計劃在未來(lái)繼續擴充的第四條、第五條生產(chǎn)線(xiàn)也會(huì )快速跟進(jìn)，目前在做的定增就是為后面的積極擴產(chǎn)籌集資金?！睆埌⒈蟊硎?。

記者獲悉，新生產(chǎn)線(xiàn)投產(chǎn)后，賽微電子將同時(shí)在瑞典和中國兩地擁有8英寸MEMS生產(chǎn)線(xiàn)。經(jīng)開(kāi)區方面透露，而北京生產(chǎn)線(xiàn)更是可以提供標準化規模產(chǎn)能，有利于該公司進(jìn)一步拓展全球市場(chǎng)尤其是亞洲市場(chǎng)，并繼續擴大MEMS業(yè)務(wù)的競爭優(yōu)勢。這條生產(chǎn)線(xiàn)還會(huì )帶動(dòng)經(jīng)開(kāi)區新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)上下游各方合力攻克自主技術(shù)難關(guān)。

“投產(chǎn)的北京8英寸MEMS國際代工線(xiàn)對標瑞典Silex的設置，配置、原材料和工藝等一一對應，確保工藝流程及產(chǎn)品生產(chǎn)的一致性?！睏钤拼赫f(shuō)，瑞典Silex掌握了硅通孔、晶圓鍵合、深反應離子刻蝕等多項在業(yè)內具備國際領(lǐng)先競爭力的工藝技術(shù)和工藝模塊，擁有目前業(yè)界最先進(jìn)的硅通孔絕緣層工藝平臺，具有400余項工藝開(kāi)發(fā)經(jīng)驗，生產(chǎn)過(guò)超過(guò)數十萬(wàn)片晶圓、100多種不同的產(chǎn)品。

經(jīng)開(kāi)區相關(guān)負責人介紹，經(jīng)開(kāi)區作為全國集成電路產(chǎn)業(yè)聚集度最高、技術(shù)水平最先進(jìn)的區域之一，現已形成以中芯國際、北方華創(chuàng )為龍頭，包括設計、晶圓制造、封裝測試、裝備、零部件及材料等完備的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，一批代表企業(yè)及研究機構承接了系列國家重大科技專(zhuān)項任務(wù)，在關(guān)鍵裝備及材料、先進(jìn)工藝開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等方面取得一批代表國家最高水平的成果。

數據顯示，1至8月經(jīng)開(kāi)區新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)完成產(chǎn)值同比增長(cháng)11%。在發(fā)布的《北京經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區關(guān)于加快四大主導產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實(shí)施意見(jiàn)》中提出，北京經(jīng)開(kāi)區還將大力發(fā)展集成電路、新型顯示等新興產(chǎn)業(yè)，鞏固提升高精尖產(chǎn)業(yè)集聚效應，加快實(shí)現高精尖核心技術(shù)突破，打造具有全球影響力的新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)集群。到2022年，新一代信息技術(shù)產(chǎn)值規模達到2000億元。