應用材料公司推出平板顯示設備高分辨率整片在線(xiàn)電子束檢視技術(shù)

　　應用材料公司今天推出了全球第一款面向平板顯示行業(yè)的高分辨率在線(xiàn)電子束檢視(EBR)系統。該系統能顯著(zhù)提高OLED，UHD液晶屏制造商良率改善的速度，更快地將新型平板顯示產(chǎn)品推向市場(chǎng)。

　　作為半導體行業(yè)EBR技術(shù)的領(lǐng)導廠(chǎng)商，應用材料公司2015年市場(chǎng)占有率達到70%以上。最新的EBR系統在一臺大型真空平臺上結合了用于半導體器件檢視的掃描電子顯微鏡(SEM)，成為業(yè)內最快、最高效的在線(xiàn)EBR檢視技術(shù)，能有效發(fā)現，分析移動(dòng)設備和電視顯示屏致命缺陷的根源。

　　全球十大顯示屏制造商，目前已有六家向應用材料公司訂購了EBR系統。隨著(zhù)越來(lái)越多的顯示器廠(chǎng)商希望通過(guò)快速、經(jīng)濟的方式來(lái)提升良率，盡快將新產(chǎn)品推向市場(chǎng)，勢必將進(jìn)一步提升該系統的未來(lái)需求。

　　應用材料公司高級副總裁，平板顯示及相關(guān)產(chǎn)品事業(yè)部與全球服務(wù)產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理Ali Salehpour表示：“我們擁有一系列面向平板顯示行業(yè)的新產(chǎn)品，其中最新推出的EBR系統能幫助客戶(hù)解決OLED，LCD制造中的關(guān)鍵挑戰。該系統完美結合了應用材料公司在半導體良率控制領(lǐng)域的先進(jìn)工藝和面板級SEM技術(shù)，進(jìn)一步擴展了我們產(chǎn)品的目標市場(chǎng)，幫助客戶(hù)避免因良率低下導致的高昂成本。隨著(zhù)增強現實(shí)、虛擬現實(shí)及智能汽車(chē)等新應用的日漸興起，市場(chǎng)對于新外型、性能更出色的顯示屏的需求不斷增加，這也相應推升了先進(jìn)平板顯示解決方案的需求，而我們的EBR系統能幫助客戶(hù)加快產(chǎn)品上市時(shí)間，因而受到市場(chǎng)熱烈反響?！?/p>

　　知名顯示器制造商天馬微電子集團副總裁馬駿博士表示：“作為全球顯示解決方案領(lǐng)導廠(chǎng)商，天馬十分重視與應用材料公司的良好合作關(guān)系。應用材料公司的設備幫助我們開(kāi)發(fā)出生產(chǎn)高質(zhì)量、高性能移動(dòng)顯示屏的新技術(shù)，滿(mǎn)足消費者日益增長(cháng)的需求。應用材料公司的EBR系統將縮短我們武漢工廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)的調試時(shí)間，從而更快地向市場(chǎng)推出更多先進(jìn)的平板顯示技術(shù)。此次合作成功后，我們期待繼續與應用材料公司攜手，將更多半導體良率提高技術(shù)引入移動(dòng)顯示制造過(guò)程?！?/p>

　　由于先進(jìn)的平板顯示技術(shù)需要越來(lái)越多的生產(chǎn)工序，可能產(chǎn)生更多、更小的污染物，以及新類(lèi)型的缺陷。在區分致命與非致命缺陷以及確認導致缺陷的系統性原因方面，目前傳統的在線(xiàn)自動(dòng)光學(xué)缺陷檢查設備無(wú)一能與SEM分析技術(shù)相媲美。在應用材料公司推出EBR系統前，顯示屏的SEM分析必須破壞性地切割玻璃基板，然后在顯微鏡下對每一小片玻璃單獨進(jìn)行檢視。這一過(guò)程不僅費時(shí)費力，而且幾乎無(wú)法確定缺陷在面板上的位置。為了彌補這些不足，應用材料公司開(kāi)發(fā)了在線(xiàn)SEM檢視工具，能實(shí)現業(yè)內最高的分辨率和檢視速度，且無(wú)需破壞玻璃基板。

　　*SEM = scanning electron microscope

　　*SEM =掃描電子顯微鏡