應用材料公司推出下一代電子束檢測設備 具有業(yè)內最高的分辨率

　　應用材料公司今天宣布其下一代電子束檢測系統已在多家領(lǐng)先的晶圓代工廠(chǎng)，以及邏輯芯片、DRAM和3D NAND工廠(chǎng)得到廣泛應用。隨著(zhù)客戶(hù)逐漸轉向更先進(jìn)的技術(shù)節點(diǎn)，這款新一代電子束檢測系統能夠為其提供最高的分辨率和圖像質(zhì)量，同時(shí)保持最快的檢測速度。

　　應用材料公司新的 PROVision™系統是目前業(yè)界最先進(jìn)的電子束檢測工具，結合了應用材料公司在電子束復查和測量領(lǐng)域長(cháng)達20多年的領(lǐng)先經(jīng)驗和最新創(chuàng )新成果。作為唯一的電子束熱點(diǎn)檢測工具，該系統提供精確到1納米的分辨率，使客戶(hù)能夠準確檢測出其他技術(shù)無(wú)法識別的“致命”缺陷，同時(shí)監測工藝窗口邊緣情況，從而迅速解決進(jìn)入產(chǎn)量的問(wèn)題，顯著(zhù)提高良率。

　　“PROVision系統是我們先進(jìn)電子束檢測技術(shù)產(chǎn)品目錄中的又一新產(chǎn)品，同時(shí)也是應用材料公司發(fā)展戰略中的一個(gè)重要組成部分。”應用材料公司副總裁兼成像和工藝測控部門(mén)總經(jīng)理Bob Perlmutter表示：“我們與眾不同的電子束技術(shù)在行業(yè)中處于領(lǐng)先地位，通過(guò)結合客戶(hù)的最新檢測方法，使PROVision系統不僅可以應用于研發(fā)階段，而且還可以使用于實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境中。”

　　目前，PROVision系統已獲得良好的市場(chǎng)反響，已發(fā)貨十余臺，其中包括來(lái)自一家領(lǐng)先的代工廠(chǎng)商和一家主要的存儲器制造商的重復訂單。2016年下半年預計還將有多臺設備銷(xiāo)售給現有客戶(hù)和新客戶(hù)。

　　“PROVision 系統結合了高分辨率和大規模采樣的優(yōu)勢，有助于縮短解決問(wèn)題的時(shí)間和更先進(jìn)技術(shù)節點(diǎn)的產(chǎn)品上市時(shí)間。”SK hynix 集團研發(fā)部EBI小組的負責人Oh-Jang Kwon博士表示。

　　與現有的電子束熱點(diǎn)檢測工具相比，PROVision系統可使檢測速度提高3倍，確保在整個(gè)產(chǎn)品生產(chǎn)周期中對影響性能和良率的缺陷進(jìn)行準確的表征、預判和識別，從而進(jìn)一步充實(shí)了應用材料公司現有的電子束復查、量測產(chǎn)品線(xiàn)和光學(xué)的帶圖型的晶片檢測產(chǎn)品線(xiàn)。