東芝開(kāi)發(fā)半導體設備的自動(dòng)中止與關(guān)閉系統 可減輕地震破壞

　　東京—東芝公司(Toshiba Corporation)和Nippon Denno Co., Ltd.日前宣布開(kāi)發(fā)一種自動(dòng)中止與關(guān)閉系統，可在發(fā)生地震時(shí)，關(guān)閉半導體生產(chǎn)設備。該系統已從2013年2月起在東芝旗下子公司—東芝巖手電子公司(Iwate Toshiba Electronics)投入使用。東芝打算進(jìn)一步完善該系統，并將之推向市場(chǎng)。

　　該系統可檢測到主要的地震波，然后在主沖擊波來(lái)襲前的十秒內關(guān)閉生產(chǎn)設備。該系統利用了東芝的半導體制造與生產(chǎn)設備知識以及Nippon Denno的自動(dòng)操作控制技術(shù)。

　　該系統可同時(shí)安全地控制多達20種不同設備的中止與關(guān)閉。它可降低地震帶來(lái)的損壞風(fēng)險，減少恢復所需的時(shí)間與成本。舉例來(lái)說(shuō)，采用該系統可將平板印刷設備的恢復時(shí)間減少一半。

　　東芝將向半導體晶圓廠(chǎng)和其他工業(yè)設施銷(xiāo)售該系統，并將根據在應對東日本大地震時(shí)所積累的專(zhuān)業(yè)知識繼續改善晶圓廠(chǎng)的抗災運轉能力。