Edwards將展示先進(jìn)真空技術(shù)

　　全球領(lǐng)先的真空設備和服務(wù)供應商Edwards公司將參加于3月20日至22日在上海新國際博覽中心舉辦的中國國際半導體技術(shù)大會(huì )(SEMICON China 2012)。

　　總部位于英國的Edwards為歷史悠久的全球品牌，其真空技術(shù)有助于減少污染、能耗和運營(yíng)成本，涉及行業(yè)廣泛，包括半導體、LED、太陽(yáng)能，以及平板顯示器(flat-panel display，FPD)領(lǐng)域。

　　Edwards的真空產(chǎn)品和尾氣處理系統適用于所有要求減低環(huán)境影響的應用，能夠緩減一系列環(huán)境威脅，包括來(lái)自于半導體生產(chǎn)的酸性和腐蝕性氣體，并且實(shí)現總體碳排放為負值。Edwards 通過(guò)在一系列創(chuàng )新且經(jīng)過(guò)驗證的真空泵和系統中采用清潔的“綠色”科技，使得客戶(hù)能擁有相對較低的設備投資和維護成本。

　　Edwards亞太區總裁Neil Lavender-Jones表示：“我們非常榮幸地參加本年度SEMICON China展會(huì )。中國的半導體行業(yè)正在穩步發(fā)展，并且完全堅定地實(shí)施尖端技術(shù)。Edwards的真空產(chǎn)品和尾氣處理系統在這一發(fā)展過(guò)程中起著(zhù)至關(guān)重要的作用。我們在展會(huì )上所展出的真空泵產(chǎn)品，充分體現了公司在生產(chǎn)極其可靠且具有高成本效益的真空解決方案方面所積累的數十年經(jīng)驗。”

　　Edwards展出的真空泵產(chǎn)品包括STP-iXR1606和STP-iXA3306磁懸浮泵兩個(gè)新型號。集成式STP-iXR1606渦輪分子泵設計在性能和易用性方面均樹(shù)立新的行業(yè)基準。該產(chǎn)品非常適合要求嚴苛的應用，包括CIGS太陽(yáng)能制造、PVD鍍膜，乃至低壓CVD。

　　此外，Edwards將展示新型Spectra-G 3000尾氣處理系統，以及iXH645/610、XDS35和GXS250/2600真空泵，Spectra-G 3000系統是市場(chǎng)領(lǐng)先的環(huán)保解決方案，適用于LED制造。隨著(zhù)LED成為中國十二五規劃的核心焦點(diǎn)，Spectra-G 3000和iXH645能夠為L(cháng)ED制造商提供實(shí)際價(jià)值。

　　歡迎SEMICON China 2012展會(huì )所有參觀(guān)者蒞臨Edwards的E1號展館1223號展位，公司代表將現場(chǎng)介紹并演示產(chǎn)品，并探討何種泵和系統適合客戶(hù)的應用。