Edwards推出新型iXH500H干泵系列

　　全球領(lǐng)先的真空和尾氣處理設備及服務(wù)供應商Edwards公司擴展其廣受歡迎的應用于嚴苛工藝的iXH產(chǎn)品系列，最新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列針對需要較高氣體流量和靈活泵溫范圍的平板顯示器、太陽(yáng)能和先進(jìn)半導體工藝而優(yōu)化，具有較低的能耗和較長(cháng)的平均維護間隔時(shí)間(mean time between servicing， MTBS)，從而顯著(zhù)降低了擁有成本，同時(shí)具備iXH450系列的小占位面積和氫氣抽取能力。

　　Edwards平板顯示器(FPD)和太陽(yáng)能部門(mén)干泵產(chǎn)品經(jīng)理Allister Watson博士表示：“iXH家族的新增系列設計用于應對平板顯示器、太陽(yáng)能和先進(jìn)半導體工藝中遇到的不同抽取挑戰，能夠顯著(zhù)延長(cháng)泵的平均維護間隔時(shí)間。迄今為止，行業(yè)缺乏具有應對這些不同挑戰靈活性的一體化嚴苛工藝干泵。而iXH500H系列具有更靈活地泵溫控制，能夠滿(mǎn)足這一需求，同時(shí)減少多達15%的能耗。因而相比上一代iXH干泵，iXH500H的擁有成本降低了30%。”

　　平板顯示器、太陽(yáng)能和半導體制造商使用的真空泵必須適應廣泛的工作條件和材料。iXH500H系列具有溫度靈活性，因而適用于這類(lèi)嚴苛工藝。iXH500H系列在低泵溫下運行，有益于使用高流量腐蝕性氣體的工藝(例如，FPD PECVD、薄膜太陽(yáng)能PECVD、半導體MOCVD)，或使用熱敏前體(pre-cursor)(例如原子層沉積)能夠在泵內沉淀副產(chǎn)物的工藝。在有副產(chǎn)品物在泵內冷凝風(fēng)險(例如高k電介質(zhì)沉積)的場(chǎng)合，可以選擇高工作溫度的泵。

　　Edwards現可提供iXH500H系列干泵，并提供從現有的iXH450系列轉換至新型iXH500H系列的升級服務(wù)。