中微半導體設備制造暨研發(fā)中心啟用

　　中微半導體設備致力于設計及生產(chǎn)，用于12寸晶圓廠(chǎng)關(guān)鍵性設備的高科技公司。目前研發(fā)總部位于中國上海，并在臺灣、新加坡、日本、韓國等地設有服務(wù)據點(diǎn)。

　　中微半導體自主開(kāi)發(fā)的12寸蝕刻機臺Primo-DRIE，已在全球成功打進(jìn)位于亞洲9家的客戶(hù)的12條晶片生產(chǎn)線(xiàn)，并順利量產(chǎn)了兩百多萬(wàn)45及40奈米技術(shù)的晶圓，28奈米部分制程技術(shù)也通過(guò)了驗證。其線(xiàn)寬均勻性已達到2奈米以下，并實(shí)現正負1%的重復性和穩定性。中微半導體設備公司作為一家國際性公司，非常愿意在臺灣投資、生根，成為亞洲地區的研發(fā)、生產(chǎn)及制造基地，與客戶(hù)及供應商一起深耕臺灣半導體產(chǎn)業(yè)。

　　中微半導體成立于2004年，臺灣分公司于2007年登記成立，并于2010年底進(jìn)駐竹南科學(xué)園區。廠(chǎng)房建置自2011年2月開(kāi)始進(jìn)行，于極短時(shí)間內即完成廠(chǎng)內無(wú)塵室設備的運轉，并于5月下旬開(kāi)始了第一臺十二寸蝕刻自有產(chǎn)品Primo-DRIE的組裝測試，預計于9月中即可正式出貨給臺灣重要的客戶(hù)。

　　2011年中微半導體已投入金額約1億元，完成臺灣生產(chǎn)線(xiàn)的設立，AMEC臺灣的產(chǎn)線(xiàn)不單單負責生產(chǎn)機臺，還涵蓋后端的組裝、測試，也就是說(shuō)從臺灣工廠(chǎng)出貨的機臺，將可以直接運送到客戶(hù)端作生產(chǎn)用，而不再需要運到第三地作其他的加工或是測試。

　　未來(lái)將再投入2至3億元建立研發(fā)中心，和客戶(hù)以及本地的關(guān)鍵零組件廠(chǎng)商進(jìn)行共同研究開(kāi)發(fā)，生產(chǎn)新一代的產(chǎn)品(CIP，Continuous Improvement Parts)，以帶動(dòng)國內科學(xué)園區的產(chǎn)值，更能藉由供應練的在地化，增加就業(yè)機會(huì )。

　　中微還將于今年底舉行臺中分公司新址擴大及啟用典禮，以提供中部客戶(hù)更即時(shí)的服務(wù)以及解決方案，屆時(shí)，竹南科學(xué)園區制造暨研發(fā)中心將同新竹分公司、臺南分公司、臺中分公司以及新竹和臺南物流中心一起，組成完整的研發(fā)、制造及服務(wù)鏈，為臺灣半導體客戶(hù)提供最好的服務(wù)。