韓正視察中微半導體設備公司

　　29日下午，中央政治局委員、上海市委書(shū)記韓正視察中微半導體設備(上海)有限公司，市委常委、浦東新區區委書(shū)記沈曉明，市委常委、市委秘書(shū)長(cháng)尹弘，副市長(cháng)周波，市委副秘書(shū)長(cháng)、研究室主任張道根，市委副秘書(shū)長(cháng)王為人，市政府副秘書(shū)長(cháng)徐逸波等領(lǐng)導陪同視察。

　　在聽(tīng)取了公司董事長(cháng)兼首席執行官尹志堯有關(guān)產(chǎn)品研發(fā)設計、產(chǎn)品生產(chǎn)銷(xiāo)售以及未來(lái)發(fā)展前景等情況介紹，并實(shí)地參觀(guān)了設備生產(chǎn)及產(chǎn)品研發(fā)潔凈室后，韓正同志指出，半導體智能裝備及技術(shù)是國家產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰略的重點(diǎn)領(lǐng)域，支持高端智能制造業(yè)發(fā)展，也是上海轉型發(fā)展的重要舉措，中微公司十年磨一劍，發(fā)展狀況較前幾年有很大變化，目前市場(chǎng)份額越來(lái)越大，發(fā)展前景可喜，市有關(guān)方面要圍繞企業(yè)提出的問(wèn)題加強指導幫助和協(xié)調解決。

　　據悉，中微已開(kāi)發(fā)出半導體芯片工業(yè)所必須的12英寸65納米到20納米等離子體介質(zhì)刻蝕高端設備，并已實(shí)現批量生產(chǎn)和銷(xiāo)售，產(chǎn)品全面進(jìn)入國際市場(chǎng)，已成為國際半導體業(yè)界包括美Lam和日本東京電子同類(lèi)設備在內的三個(gè)最好的介質(zhì)刻蝕設備。8英寸和12英寸硅通孔刻蝕設備是中微開(kāi)發(fā)的第二種設備產(chǎn)品，已經(jīng)取得國內市場(chǎng)的半壁江山，并實(shí)現了出口，廣泛應用在海內外客戶(hù)芯片生產(chǎn)線(xiàn)上，成為國際最具競爭力的三家產(chǎn)品之一。同時(shí)，中微已完成第三種設備產(chǎn)品——制造發(fā)光二極管LED的關(guān)鍵設備MOCVD的開(kāi)發(fā)。產(chǎn)品已經(jīng)在客戶(hù)芯片生產(chǎn)線(xiàn)順利通過(guò)了三個(gè)階段全工藝過(guò)程核準，近期還將進(jìn)入海內外另外幾家LED外延片生產(chǎn)企業(yè)。