上市公司天龍光電聯(lián)手華晟光電研發(fā)MOCVD

　　內地創(chuàng )業(yè)板上市公司天龍光電(300029)發(fā)布公告，江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“天龍光電”或“公司”)與華晟光電設備(香港)有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“華晟光電”)于2011年2月18日在江蘇金壇簽署《江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司與華晟光電設備(香港)有限公司成立合資公司之合資合同》，天龍光電利用超募資金投入，華晟光電以多項MOCVD專(zhuān)有技術(shù)及資金投入，共同在常州合資成立獨立法人的中外合資公司，主要從事MOCVD設備及外延工藝的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、及售后服務(wù)，并且合資公司將在上海成立以研發(fā)為目的的子公司。天龍光電利用超募投入人民幣5333.33萬(wàn)元，華晟光電以無(wú)形知識產(chǎn)權投入折算人民幣3523.8萬(wàn)元以及資金投入人民幣666.67萬(wàn)元。

　　天龍光電(300029)是一家致力于新能源設備及其應用的創(chuàng )業(yè)板企業(yè)，目前的主要產(chǎn)品包括單晶生長(cháng)爐、多晶鑄錠爐、多線(xiàn)切割機、LED藍寶石爐等，經(jīng)過(guò)近5年來(lái)的發(fā)展，公司已經(jīng)成為國內重要的新能源設備供應商。在今后3～5年內，公司在戰略上將圍繞光伏行業(yè)和LED行業(yè)這兩大新能源產(chǎn)業(yè)的重要方向，致力于在這兩個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈上的設備研發(fā)、制造和應用。

　　華晟光電是由一批LED MOCVD領(lǐng)域的技術(shù)專(zhuān)家和管理人員共同創(chuàng )建，擁有創(chuàng )新的、具有自主知識產(chǎn)權的多項LED MOCVD技術(shù)，并且團隊具有20多年所積累的世界一流大規模生產(chǎn)的半導體薄膜沉積設備的技術(shù)與經(jīng)驗。主要從事LED MOCVD設備、技術(shù)、外延工藝的研發(fā)、生產(chǎn)、市場(chǎng)經(jīng)營(yíng)與銷(xiāo)售、及售后服務(wù)。陳愛(ài)華先生為華晟光電法定代表人，并且為華晟光電的實(shí)際控制人。 陳愛(ài)華原任美國應用材料公司( Applied Materials )LPCVD產(chǎn)品部總經(jīng)理和中微公司董事，執行副總裁。從1992年起，參與和領(lǐng)導開(kāi)發(fā)了幾代一系列薄膜沉積技術(shù)和設備, 包括金屬物理濺射;MOCVD的鋁、氮化鈦、鎢和鎢化硅化;氮化硅、晶硅和氧化硅熱化學(xué)沉積;并成功引入市場(chǎng)，推動(dòng)了世界薄膜沉積技術(shù)和設備的發(fā)展。具有長(cháng)期的技術(shù)開(kāi)發(fā)，產(chǎn)品管理，知識產(chǎn)權管理，市場(chǎng)及銷(xiāo)售，人才資源管理，用戶(hù)服務(wù)，信息管理，及綜合決策管理的全面經(jīng)驗。已獲得40項美國、日本、中國和歐洲專(zhuān)利，還有11項待批專(zhuān)利。三次獲得美國應用材料公司的杰出工程與發(fā)明獎。

　　根據該項目出具的可行性研究報告顯示，合資公司MOCVD設備核心競爭力的開(kāi)發(fā)戰略為：

　　a) 降低芯片外延制造成本35% 以上

　　b) 提高外延大規模生產(chǎn)所需的設備的可靠性、穩定性、安全性和系統維護

　　c) 提供高性能芯片外延制成工藝

　　與Aixtron和Veeco相比，該MOCVD的系統單位產(chǎn)能可以提高30%以上。實(shí)時(shí)溫度控制的多-獨立加熱元件電阻式加熱器設計和垂直均勻分離噴淋式反應氣體輸送與分布噴頭系統相結合，既可十分有效地提高外延片的良品率，又可解決目前Aixtron和Veeco設備在大規模生產(chǎn)中所存在的可靠性問(wèn)題和減少系統維護與昂貴反應氣體的消耗。

　　另外，該項目所采用的水平與垂直結合式氣體排出技術(shù)，能降低雜質(zhì)顆粒，提高外延片薄膜晶化的質(zhì)量，既增加了良品率，同時(shí)也能減少昂貴反應氣體的消耗。通過(guò)以上所述的降低設備和耗材成本的途徑，公司MOCVD設備和消耗零部件的成本可降低30%以上。