中微公司發(fā)布用于深紫外LED量產(chǎn)的MOCVD設備Prismo HiT3

中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中微公司”，上交所股票代碼：688012）今日宣布推出Prismo HiT3^TM MOCVD設備，主要用于深紫外LED量產(chǎn)。

中微Prismo系列MOCVD設備目前已進(jìn)入全球大多數領(lǐng)先的藍綠光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3^TM是中微Prismo系列MOCVD設備的最新產(chǎn)品。該設備是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長(cháng)的關(guān)鍵設備，反應腔最高溫度可達1400度，具有優(yōu)異的工藝重復性、均勻性和低缺陷率。該設備同時(shí)也為高產(chǎn)量而設計，單爐可生長(cháng)18片2英寸外延晶片，并可延伸到生長(cháng)4英寸晶片。

中微公司Prismo HiT3^TM MOCVD設備早期的客戶(hù)包括國內領(lǐng)先的深紫外LED制造商馬鞍山杰生半導體有限公司，該公司的深紫外LED在家用、醫療和科研設備等領(lǐng)域有廣泛應用。

深紫外光幾十年前就被應用于工業(yè)和民用消毒殺菌領(lǐng)域。它通過(guò)破壞細菌和病毒的DNA使其喪失繁殖能力來(lái)發(fā)揮作用。深紫外LED被用于不同波長(cháng)的殺菌燈中，且與傳統的汞燈相比對環(huán)境無(wú)污染。類(lèi)似SARS、MERS和新冠病毒的出現使得深紫外LED產(chǎn)品的需求激增，深紫外LED產(chǎn)品可以消滅這些新生微生物。波長(cháng)260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前該領(lǐng)域最先進(jìn)的技術(shù)解決方案（例如杰生半導體的深紫外LED產(chǎn)品）。

中微公司設計的Prismo HiT3^TM MOCVD設備具有新穎的腔體設計，能在高溫環(huán)境下生長(cháng)高質(zhì)量氮化鋁工藝，并具有業(yè)內領(lǐng)先的深紫外LED高產(chǎn)出率；同時(shí)具備較長(cháng)的平均免開(kāi)腔維護間隔時(shí)間，進(jìn)一步延長(cháng)正常運行時(shí)間并提高產(chǎn)能。真空自動(dòng)化傳輸系統可以抑制顆粒物的產(chǎn)生，并減少缺陷。自動(dòng)化升降機構可方便維護操作并有效節省維護時(shí)間。

“我們現在已經(jīng)看到了深紫外LED帶來(lái)的切實(shí)好處，它已成為消滅有害病原體的重要工具?！苯苌雽w有限公司董事長(cháng)康健說(shuō)道，“隨著(zhù)深紫外LED技術(shù)的持續發(fā)展，我們?yōu)槟軌蛟诠埠图彝ハ井a(chǎn)品領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位而感到自豪。中微公司設計的Prismo HiT3^TM MOCVD設備可以滿(mǎn)足深紫外LED大批量、低生產(chǎn)成本的制造需求。中微公司憑借其世界一流的工藝專(zhuān)長(cháng)和高性能的MOCVD設備解決方案，是值得信賴(lài)的合作伙伴?！?/p>

“中微自主研發(fā)的Prismo HiT3^TM MOCVD設備延續了我們現有Prismo平臺已驗證的主要創(chuàng )新功能，并提升了可在高溫工藝環(huán)境下生長(cháng)氮化鋁基材料的性能，使之拓展到深紫外LED的應用?！敝形⒐緢绦懈笨偛眉媸紫\營(yíng)官杜志游博士說(shuō)道，“杰生半導體始終致力于持續發(fā)展LED技術(shù)并創(chuàng )造有益于人類(lèi)健康的產(chǎn)品，我們很高興杰生成為我們的早期用戶(hù)，同時(shí)也很榮幸我們的設備解決方案能夠助力客戶(hù)研發(fā)下一代深紫外LED產(chǎn)品，并在技術(shù)研發(fā)和成本控制上幫助客戶(hù)達成目標?！?/p>

Prismo HiT3^TM是中微公司的注冊商標。