中微公司喜迎全球第500臺MOCVD設備付運里程碑

中國上海，2022年10月25日——10月25日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中微公司”，上交所股票代碼：688012）宣布其MOCVD設備系列喜迎又一里程碑：全球第500臺MOCVD設備順利付運國內一家專(zhuān)業(yè)從事LED外延片和芯片的研發(fā)生產(chǎn)制造商。這一里程碑既是中微公司MOCVD產(chǎn)品的卓越性能與服務(wù)的專(zhuān)業(yè)優(yōu)勢的充分證明，也是對公司持續創(chuàng )新的技術(shù)能力與穩步發(fā)展的綜合實(shí)力的認可與肯定。

本批次運付的第500臺MOCVD設備為中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax?，主要用于氮化鎵基Mini LED外延片量產(chǎn)。隨著(zhù)近些年來(lái)光電產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，Mini LED已廣泛應用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示器、車(chē)載顯示屏、戶(hù)外顯示屏等終端產(chǎn)品。

自面世以來(lái)， Prismo UniMax? MOCVD設備憑借優(yōu)異的波長(cháng)均勻性、高能效和高產(chǎn)能等優(yōu)勢迅速獲得了市場(chǎng)認可，團隊專(zhuān)業(yè)及時(shí)的現場(chǎng)支持和細致規范的技術(shù)服務(wù)也備受客戶(hù)青睞。作為專(zhuān)為高性能Mini LED量產(chǎn)而設計的MOCVD設備，Prismo UniMax?具備高產(chǎn)能和高靈活性的特點(diǎn)，在同一系統中可配備多達4個(gè)反應腔，每個(gè)反應腔均可實(shí)現獨立控制。Prismo UniMax?配置了785mm大直徑石墨托盤(pán)，通過(guò)石墨托盤(pán)的不同設計配置，最多可實(shí)現同時(shí)加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高產(chǎn)能并降低生產(chǎn)成本。此外，Prismo UniMax?創(chuàng )新的多區輔助加熱調節系統，能精確控制托盤(pán)局部區域溫度，有助于更大程度提升LED波長(cháng)均勻性。

中微公司MOCVD設備Prismo UniMax?

目前，中微公司開(kāi)發(fā)的一系列MOCVD設備在行業(yè)內主要的LED生產(chǎn)線(xiàn)上已全面投入量產(chǎn)。Prismo UniMax?是MOCVD設備系列新一代產(chǎn)品，該產(chǎn)品系列還包括Prismo D-BLUE?、Prismo A7?、Prismo HiT3?和Prismo PD5?。2013年，中微公司率先發(fā)布國內自主研發(fā)制造的量產(chǎn)型MOCVD設備Prismo D-BLUE?。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出了Prismo A7?、Prismo HiT3?、Prismo UniMax?和Prismo PD5?產(chǎn)品。

“此次里程碑是中微公司取得的又一次重要突破，為今后MOCVD產(chǎn)品市場(chǎng)進(jìn)一步開(kāi)拓奠定了堅實(shí)的基礎?！爸形⒐靖笨偛眉鍹OCVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理郭世平表示：“我們感到十分自豪，中微公司開(kāi)發(fā)的一系列MOCVD設備，獲得了客戶(hù)與市場(chǎng)的廣泛認可，部分產(chǎn)品在細分領(lǐng)域市占率達到全球排名第一。未來(lái)，隨著(zhù)新應用的進(jìn)一步拓展，我們將繼續推進(jìn)與客戶(hù)的密切合作交流，通過(guò)技術(shù)領(lǐng)域的持續創(chuàng )新，不斷為客戶(hù)提供極具競爭力的產(chǎn)品和解決方案，實(shí)現穩步發(fā)展與深度共贏(yíng)，共同譜寫(xiě)產(chǎn)業(yè)更加美好的明天?！?/span>