Veeco發(fā)表用于生產(chǎn)高亮度 LED的MaxBright GaN MOCVD

　　日前，Veeco發(fā)表一款新型MOCVD產(chǎn)品：TurboDisc MaxBright?氮化鎵(GaN)有機金屬化學(xué)氣相沉積法(MOCVD)多反應器系統，用于生產(chǎn)高亮度 LED。

　　Veeco介紹，MaxBright利用Veeco的FlowFlange ?集群架構自動(dòng)化技術(shù)在一個(gè)模塊化的兩個(gè)或四個(gè)反應器通過(guò)組合高通量金屬有機化學(xué)氣相沉積反應器。

　　該MaxBright反應堆，在K465i的基礎上經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗證，既擴大了晶圓的生產(chǎn)能力和，同時(shí)保證了均勻性、重復性和材料的質(zhì)量。MaxBright MOCVD系統可提供生產(chǎn)能力達216 × 2”，56 × 4”，24 × 6”或12 × 8”晶圓。此外，無(wú)縫轉移MaxBright能使客戶(hù)實(shí)現快速生產(chǎn)。