陶氏電子材料推出OPTIVISIONTM 4540 化學(xué)機械研磨墊

　　陶氏電子材料 (Dow Electronic Materials)今天推出了 OPTIVISIONTM 4540 化學(xué)機械研磨墊，該產(chǎn)品的設計目標是在研磨墊的使用壽命內實(shí)現低缺陷率和低擁有成本。這款新研磨墊使用了獨特的聚合物化學(xué)組成和細孔結構，以達到使銅阻擋層研磨的缺陷率降至最低，并提供更高的介電層去除率。OPTIVISION™ 4540 研磨墊擁有雙孔結構以精確控制研磨，并且在研磨墊使用壽命中提供一致的研磨墊表面。

　　OPTIVISION™ 4540 研磨墊可用于使用傳統軟墊的多種應用。尤其在銅阻擋層研磨方面，與 POLITEXTM 研磨墊產(chǎn)品相比，它在顫動(dòng)和微劃痕缺陷率方面取得了一個(gè)數量級的進(jìn)步，從而實(shí)現了更高的生產(chǎn)良率。與 POLITEXTM 研磨墊相比，OPTIVISION™ 4540 研磨墊的四乙氧基硅烷 (TEOS) 去除率提高了40%，從而實(shí)現了更高的產(chǎn)量和更低的擁有成本。

　　陶氏電子材料研磨墊行銷(xiāo)經(jīng)理 Dave Ventura 表示：“我們的新研磨墊目的是直接因應市場(chǎng)對更高產(chǎn)量和更低缺陷研磨墊的需求?？蛻?hù)測試表明，OPTIVISION™ 4540 研磨墊的穩定性超過(guò)了1000個(gè)晶圓片。這些初步結果明顯表現，這款研磨墊能夠在較長(cháng)的使用壽命中以極低的擁有成本實(shí)現一致的高效表現。”

　　這款研磨墊可與陶氏的 ACuPLANETM 5100 系列研磨液一起使用，以實(shí)現更高性能。OPTIVISION™ 4540 研磨墊擁有多種尺寸和配置，包括最新的視窗選項，可用于目前的和先進(jìn)的技術(shù)節點(diǎn)和平臺。陶氏目前已進(jìn)行 OPTIVISION™ 4540 研磨墊的試樣提供，該產(chǎn)品將于今年第四季上市。