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陶氏電子材料推出OPTIVISIONTM 4540 化學(xué)機械研磨墊
- 陶氏電子材料 (Dow Electronic Materials)今天推出了 OPTIVISIONTM 4540 化學(xué)機械研磨墊，該產(chǎn)品的設計目標是在研磨墊的使用壽命內實(shí)現低缺陷率和低擁有成本。這款新研磨墊使用了獨特的聚合物化學(xué)組成和細孔結構，以達到使銅阻擋層研磨的缺陷率降至最低，并提供更高的介電層去除率。OPTIVISION? 4540 研磨墊擁有雙孔結構以精確控制研磨，并且在研磨墊使用壽命中提供一致的研磨墊表面。 OPTIVISION? 4540 研磨墊可用于使用傳統
- 關(guān)鍵字： 陶氏 研磨墊 OPTIVISION 4540
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