KLA-TENCOR 推出全新控片檢測系統 SURFSCAN SP2XP

　　日前，KLA-Tencor 公司推出了 Surfscan® SP2^XP，這是一套專(zhuān)供集成電路(IC) 市場(chǎng)采用的全新控片檢測系統，該系統是根據去年在晶片制造市場(chǎng)上推出并大獲成功的同名姊妹機臺開(kāi)發(fā)而成。全新的 Surfscan SP2XP 對硅、多晶硅和金屬薄膜上的缺陷靈敏度更高，且與其上一代業(yè)界領(lǐng)先的產(chǎn)品 Surfscan SP2 相比，在按缺陷類(lèi)型和大小來(lái)分類(lèi)方面具有更強能力。其特性還包括真空承載裝置和業(yè)界最佳的生產(chǎn)能力。這些功能是為芯片制造商在晶片廠(chǎng)提供卓越的制程機臺監控而設計，使其能將領(lǐng)先的 (≥4Xnm) 元件更快地推向市場(chǎng)。新系統還提供了超高靈敏度操作模式，可加快晶片廠(chǎng)對 3Xnm 和 2Xnm 的下一代元件的開(kāi)發(fā)。

　　KLA-Tencor 晶片檢測集團的副總裁兼總經(jīng)理 Mike Kirk 表示："高性能元件的制造商認識到芯片制程的復雜性日益增加，同時(shí)這些元件的市場(chǎng)窗口期也日益縮短，Surfscan SP2XP 系統解決了快速檢出制程機臺其正造成過(guò)多缺陷的需求，并在最低的晶片報廢率、良率損失和市場(chǎng)延遲下修正此問(wèn)題。我們的新機臺能解決此挑戰，不僅在靈敏度和產(chǎn)能方面有所提升，而且還引入將微粒從微痕和殘留物區分出的功能，而無(wú)需耗費 SEM 復檢的資源。我們深信，Surfscan SP2XP 將幫助晶片廠(chǎng)加快其先進(jìn)元件的生產(chǎn)。"

　　改善了光學(xué)機械和信號處理的設計，是為確保能夠捕獲到光面晶片上，以及前端和后端薄膜上哪怕是最細微的缺陷。獨一、專(zhuān)利的多頻道架構及創(chuàng )新型的算法，讓 Surfscan SP2XP 系統能自動(dòng)區分缺陷類(lèi)型。與上一代行業(yè)領(lǐng)先的 Surfscan SP2 產(chǎn)品相比，該機臺還具有卓越的產(chǎn)能，讓晶片廠(chǎng)能夠每小時(shí)檢測更多晶片，或使用更高靈敏度的設置，且不會(huì )降低其產(chǎn)能。Surfscan SP2XP 秉承了該平臺的一貫聲譽(yù)，具有極佳的可靠性、易用性和系統匹配性。

　　由于整個(gè)產(chǎn)業(yè)對于 Surfscan SP2XP 系統有著(zhù)濃厚的興趣，我們已經(jīng)得到了來(lái)自亞洲、美國和歐洲的晶片廠(chǎng)設備制造商，以及領(lǐng)先的邏輯電路及內存代工廠(chǎng)的多份訂單。我們于 2007 年 1 月發(fā)布了晶片廠(chǎng)制造市場(chǎng)專(zhuān)用的 Surfscan SP2XP 系統的邊緣承載裝置版本，并迅速取得了市場(chǎng)的廣泛認同，每個(gè)領(lǐng)先的晶片制造商都安裝了多個(gè)該系統。
 
　　技術(shù)摘要

　　由于在機械、光學(xué)和信號處理子系統方面進(jìn)行了改進(jìn)，Surfscan SP2XP 控片檢測系統與其上一代行業(yè)領(lǐng)先的 Surfscan SP2 產(chǎn)品相比具有多項優(yōu)勢。這些優(yōu)勢包括：

　　·產(chǎn)能最高提升 36%，這要歸功光學(xué)機械、電子和軟件方面的綜合改善。

　　·獨一、專(zhuān)利的多頻道架構，讓 Surfscan SP2XP 系統得以自動(dòng)將微粒從微痕、空隙、水印和其他殘留物區分。

　　·引入了超高靈敏度模式，讓 Surfscan SP2XP 系統能用于下一代芯片的開(kāi)發(fā)。

　　·光學(xué)機械創(chuàng )新增強了機臺對多晶硅、鎢和銅等粗糙薄膜上缺陷的檢測靈敏度。結合該平臺對光滑薄膜上的基準靈敏度，這一全新功能讓 Surfscan SP2XP 平臺能夠在整個(gè)晶片廠(chǎng)內使用，為晶片廠(chǎng)的經(jīng)營(yíng)效率帶來(lái)潛在的改善。

　　·采用全新的微分干涉相差 (DIC) 頻道，能夠捕捉到淺、平、淡的關(guān)鍵缺陷，例如殘留物或凸起點(diǎn)，所有這些缺陷均可能造成元件故障，尤其是先進(jìn)元件。