我國IC裝備制造業(yè)的四個(gè)設想

　　國務(wù)院正式批準的《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》中指出了要突出“芯片設計—制造—封測—裝備材料”全產(chǎn)業(yè)鏈布局。中國已經(jīng)是全球集成電路市場(chǎng)大國，但集成電路大量依賴(lài)進(jìn)口。要將我國集成電路產(chǎn)業(yè)做大做強，就一定要把我國集成電路裝備制造業(yè)搞上去。

　　在國家科技重大專(zhuān)項的支持下，一些大規模集成電路關(guān)鍵裝備通過(guò)驗收并走進(jìn)了大生產(chǎn)線(xiàn)。極大規模集成電路制造裝備及成套工藝科技項目(簡(jiǎn)稱(chēng)02專(zhuān)項)2008~2013年共安排集成電路裝備研制項目29項，包括45納米單片清洗設備、快速退火爐、關(guān)鍵封測設備、高密度等離子刻蝕系統、45~28納米去耦合反應等離子體刻蝕機、先進(jìn)封裝投影光刻機、65~45納米介質(zhì)刻蝕機、65~45納米PVD設備、65納米集成電路離子注入機、65納米銅互連清洗及化學(xué)處理設備、集成電路先進(jìn)封裝用勻膠機、全自動(dòng)引線(xiàn)銀鍵合機等12個(gè)項目，到2013年年底已通過(guò)驗收，這些裝備也走進(jìn)了12英寸極大規模集成電路的生產(chǎn)線(xiàn)。

　　國產(chǎn)集成電路先進(jìn)封裝生產(chǎn)線(xiàn)關(guān)鍵設備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展迅速。國產(chǎn)集成電路先進(jìn)封裝生產(chǎn)線(xiàn)關(guān)鍵設備得到了集成電路生產(chǎn)廠(chǎng)商的信任和認可，實(shí)現了產(chǎn)業(yè)化。其中有集成電路先進(jìn)封裝用勻膠機、3微米步進(jìn)式投影光刻機、用于三維芯片封裝的硅通孔刻蝕機、高密度深硅等離子刻蝕機、TSV硅通孔物理氣相沉積設備(PVD)等，這些關(guān)鍵裝備的國產(chǎn)化有力地推進(jìn)了我國集成電路先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

　　國產(chǎn)集成電路硅片生產(chǎn)設備尚未進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化。在02專(zhuān)項的支持下，12英寸集成電路硅片生產(chǎn)設備(硅單晶生長(cháng)爐、多線(xiàn)切割機、磨片機、拋光機)的γ機目前已通過(guò)工藝認證，但尚未進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)。

　　市場(chǎng)占有率低。目前，我國大規模集成電路生產(chǎn)線(xiàn)裝備大都依賴(lài)進(jìn)口，我國大規模集成電路生產(chǎn)線(xiàn)(8~12英寸)中的硅片和晶圓(芯片)制造裝備大都依賴(lài)進(jìn)口(8英寸以下的生產(chǎn)線(xiàn)是引進(jìn)翻新的二手設備)，這不僅嚴重影響了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，也對我國的信息安全造成重大的隱患。根據中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )對我國13家主要集成電路生產(chǎn)單位的統計，2013年共銷(xiāo)售集成電路設備1093臺，銷(xiāo)售金額10.34億元(其中芯片制造設備約7億元)，大約是當年我國半導體設備進(jìn)口額的5%左右。

　　產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程緩慢。“十二五”期間，盡管在國家重大專(zhuān)項的支持下，一些關(guān)鍵設備進(jìn)入了大生產(chǎn)線(xiàn)，并經(jīng)過(guò)了驗收，但在新建的生產(chǎn)線(xiàn)上，使用單位有較大的風(fēng)險，在與進(jìn)口設備的競爭中，國產(chǎn)設備很難擠得上去。特別是對大規模集成電路芯片制造設備國產(chǎn)化缺乏信心，使已經(jīng)在生產(chǎn)線(xiàn)上驗收的國產(chǎn)設備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程艱難。目前，一些設備制造單位，已經(jīng)將集成電路設備成果應用到風(fēng)險相對低的LED等其它半導體器件領(lǐng)域。

　　缺乏“領(lǐng)軍”的高技術(shù)人才。一些技術(shù)難度大的關(guān)鍵設備，由于缺乏“領(lǐng)軍”的高技術(shù)人才，久攻不下，同時(shí)也影響了集成電路生產(chǎn)線(xiàn)設備國產(chǎn)化的推廣。

　　IC裝備制造業(yè)發(fā)展設想

　　第一，對國家投資的集成電路建設工程項目，要提出集成電路生產(chǎn)線(xiàn)設備國產(chǎn)化的要求，推廣已經(jīng)在集成電路大生產(chǎn)線(xiàn)上驗收過(guò)的國產(chǎn)設備。

　　第二，依托國家科技專(zhuān)項集成電路關(guān)鍵裝備科技項目，對承擔項目的單位，設備產(chǎn)業(yè)化目標要提出更高的要求，進(jìn)一步推進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程。

　　第三，鼓勵和支持積極使用國產(chǎn)集成電路設備的集成電路生產(chǎn)企業(yè)，對使用首臺(套)集成電路關(guān)鍵設備給予優(yōu)惠政策，以減少承擔的風(fēng)險。

　　第四，建設國產(chǎn)化集成電路示范生產(chǎn)線(xiàn)，推進(jìn)我國產(chǎn)集成電路產(chǎn)業(yè)做強。沒(méi)有國產(chǎn)的集成電路生產(chǎn)線(xiàn)，僅依賴(lài)進(jìn)口集成電路設備的集成電路產(chǎn)業(yè)是不可能做強的，只能跟在人家后面跑，并且還要受制于人，所以建設國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線(xiàn)是當務(wù)之急。從目前的市場(chǎng)需要和我國集成電路設備發(fā)展情況來(lái)看，建議在二到三年內建設以下三條集成電路國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線(xiàn)：12英寸集成電路硅片生產(chǎn)線(xiàn);集成電路先進(jìn)封裝生產(chǎn)線(xiàn);8英寸90nm集成電路晶圓(芯片)生產(chǎn)線(xiàn)。