車(chē)用TPMS專(zhuān)用傳感器技術(shù)剖析
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為了便于TPMS接收器的識別，每個(gè)壓力傳感器都具有32位獨特的ID碼，它可產(chǎn)生4億個(gè)不重復的號碼。
圖3壓力、加速度與ASIC/MCU組合封裝在一個(gè)包裝內
圖4壓力/溫度導入孔
圖5硅壓阻式壓力傳感器結構
圖6加速度傳感器平面結構圖
圖7加速度傳感器切面結構圖
同樣，加速度傳感器也是用MEMS技術(shù)制作的，圖6是MEMS加速度傳感器平面結構圖，圖7是加速度傳感器切面結構圖，圖中間是一塊用MEMS技術(shù)制作的、可隨運動(dòng)力而上下可自由擺動(dòng)的硅島質(zhì)量塊，在其與周邊固置硅連接的硅樑上刻制有一應變片，與另外三個(gè)刻制在固置硅上的應變片組成一個(gè)惠斯頓測量電橋，只要質(zhì)量塊隨加速度力擺動(dòng)，惠斯頓測量電橋的平衡即被破壞，惠斯頓測量電橋就輸出一個(gè)與力大小成線(xiàn)性的變化電壓△V。
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