俄羅斯首臺350nm光刻機將在莫斯科生產(chǎn)

3月25日消息，據俄羅斯衛星通訊社報道，莫斯科市長(cháng)謝爾蓋·索比亞寧近日在其 “電報” 頻道的賬號上發(fā)文稱(chēng)，莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已完成了俄羅斯首臺350nm光刻機的研發(fā)工作，這是生產(chǎn)微芯片的關(guān)鍵設備。

在俄烏沖突爆發(fā)后，美西方對俄羅斯實(shí)施了更為嚴厲的出口管制措施，其中半導體芯片及光刻機等半導體設備成為了限制的重點(diǎn)，這也迫使俄羅斯開(kāi)始研發(fā)自主設計的國產(chǎn)光刻機。

2023年，俄羅斯聯(lián)邦工業(yè)和貿易部副部長(cháng)瓦西里·什帕克（Vasily Shpak）在接受媒體采訪(fǎng)時(shí)就曾表示，2024年俄羅斯將開(kāi)始生產(chǎn)350nm光刻機，2026年啟動(dòng)用于生產(chǎn)130nm制程芯片的光刻機。光刻機的生產(chǎn)將在莫斯科、澤列諾格勒、圣彼得堡和新西伯利亞的現有工廠(chǎng)進(jìn)行。

隨后在2024年5月，俄羅斯塔斯社報道稱(chēng)，在CIPR 2024會(huì )議期間，Vasily Shpak宣布，俄羅斯首臺國產(chǎn)光刻機已經(jīng)組裝完成，并正在澤列諾格勒進(jìn)行測試，該設備可確保生產(chǎn)350nm的芯片。但是當時(shí)Vasily Shpak并未透露更多關(guān)于該光刻機的細節。

莫斯科市長(cháng)謝爾蓋·索比亞寧近日的最新爆料顯示，莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已完成了俄羅斯首臺350nm光刻機的研發(fā)工作，并曝光了部分相關(guān)照片。

“全球有能力制造這一微芯片關(guān)鍵生產(chǎn)設備的不到10個(gè)，如今，俄羅斯也躋身其中。我們已向過(guò)渡到自主生產(chǎn)微電子產(chǎn)品和國家技術(shù)完全獨立上邁出了最重要的一步?！彼鞅葋唽庍€指出，俄羅斯的這一設備與外國類(lèi)似設備有著(zhù)非常大的不同，俄羅斯的這一設備首次使用固體激光器來(lái)作為輻射裝置，而不是汞燈，固體激光器功率大、能效高、耐用性強、光譜更窄。

眾所周知，光刻機對于半導體的生產(chǎn)極為重要，當前全球只有荷蘭ASML、日本尼康和佳能、中國的上海微電子這四家公司能夠生產(chǎn)光刻機，但是能夠生產(chǎn)先進(jìn)制程的光刻機只有ASML、尼康和佳能能夠供應。雖然350nm是一種非常成熟的制程，但是依然可以滿(mǎn)足部分汽車(chē)、能源和通信行業(yè)的芯片需求。

莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司總經(jīng)理阿納托利·科瓦列夫表示：“我們公司已按照國家合同完成了俄羅斯首臺350nm拓撲結構的投影式光刻機的研發(fā)工作。這一項目是與白俄羅斯“Planar”工廠(chǎng)合作實(shí)施完成的。在2024 年 12 月測試成功后，這一光刻機就獲得了國家委員會(huì )的認可，并記錄了所有申報的技術(shù)特征。目前已有客戶(hù)購買(mǎi)了這一設備，現在這一設備的工藝流程正根據最終用戶(hù)對生產(chǎn)的特殊要求進(jìn)行調整?！?/p>

報道稱(chēng)，該350nm光刻機的工作區域面積顯著(zhù)增加，達到了 22mm x 22mm，可加工最大直徑為200mm的晶圓。

據莫斯科市投資和工業(yè)政策局指出，“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已做好了批量生產(chǎn)這款350nm光刻機的準備。此外，“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”目前還正在按第二份國家合同繼續開(kāi)展 130 納米光刻機的研發(fā)工作，預計于 2026 年完成。

根據此前曝光的計劃，2024年俄羅斯將撥款2,114億盧布（約合人民幣166.16億元）用于國內電子產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，其將包括可以生產(chǎn)350nm制程芯片的光刻機，2026年將完成用于生產(chǎn)130nm制程芯片的光刻機。

而俄羅斯決定開(kāi)發(fā)350nm到65nm光刻機的原因，在于這一技術(shù)范圍內的芯片多用于微控制器、電力電子、電信電路、汽車(chē)電子等方面上，這些應用大約占據了整個(gè)市場(chǎng)的60%。所以，這類(lèi)光刻機在全世界市場(chǎng)的需求量很大，并且將在至少10年內有持續的需求。

Vasily Shpak此前還曾指出，一個(gè)簡(jiǎn)單的邏輯就是，如果沒(méi)有半導體主權，那就沒(méi)有技術(shù)主權，這將導致國防安全和政治主權方面就非常脆弱。

而現在俄羅斯已經(jīng)掌握了使用國外國光刻機制造65nm芯片的技術(shù)，但因為外國公司被禁止向俄羅斯出口先進(jìn)的光刻機，所以俄羅斯也需要積極開(kāi)發(fā)自己的光刻機。

針莫斯科政府部長(cháng)兼投資和工業(yè)政策局局長(cháng)阿納托利·加爾布佐夫評論道：“莫斯科是俄羅斯微電子發(fā)展的中心。如今莫斯科約占俄羅斯微電子企業(yè)總營(yíng)收的40%。微電子學(xué)和光子學(xué)的發(fā)展在城市和商業(yè)領(lǐng)域的各個(gè)行業(yè)都有著(zhù)廣闊的應用前景，包括光通信、傳感技術(shù)、無(wú)線(xiàn)電光子學(xué)等諸多方向?！箍瓶萍汲恰?jīng)濟特區的入駐企業(yè)目前正在實(shí)施一系列重大項目，每個(gè)項目都旨在生產(chǎn)具有戰略意義的產(chǎn)品?！?/p>