國內集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的總結與展望

尖端光刻機設備及零部件方面的核心領(lǐng)軍人物之一朱煜老師給大家分享集成電路最卡脖子的裝備產(chǎn)業(yè)中值得思考的問(wèn)題。

集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的春秋時(shí)期

眾所周知，春秋時(shí)代周文王分封諸侯，而后形成春秋五霸。我國集成電路02 專(zhuān)項啟動(dòng)之后，在整體戰略部署下，國內創(chuàng )新團隊和企業(yè)已有一個(gè)整體布局，每個(gè)企業(yè)都有專(zhuān)攻的一個(gè)領(lǐng)域，如今從無(wú)到有，從低端到高端，已經(jīng)實(shí)現了一個(gè)非常好的水平。

在“春秋時(shí)代”，各企業(yè)一般是專(zhuān)攻1~2 種裝備，并且都是從0 開(kāi)始去追趕，在02 專(zhuān)項重要的支持下，各企業(yè)紛紛取得突破。在企業(yè)數量有限的情況下，針對一個(gè)裝備，在“多選一”的條件下，競爭激烈，因而各企業(yè)基本不會(huì )研發(fā)相同的設備。在專(zhuān)項的部署下，企業(yè)與裝備形成一個(gè)完整的覆蓋面，形成“分封”的局面。經(jīng)過(guò)大家的努力與專(zhuān)項支持，各企業(yè)在擅長(cháng)的設備領(lǐng)域發(fā)展迅速，并從而形成一個(gè)良性互補的狀態(tài)，并且與國外的技術(shù)差距逐步縮小，在補齊設備短板的同時(shí)，產(chǎn)業(yè)鏈條也變完整，基本上具備了一定的規模。

朱煜老師隨后盤(pán)點(diǎn)了集成電路裝備中的幾家核心企業(yè)，首位提到的是上海微電子，其在2002，是第一家成立的集成電路裝備公司，可謂是集成裝備領(lǐng)域“最硬的骨頭”，目前它的裝備涵蓋了前道光刻機、封裝光刻機和平板顯示光刻機。第二位是北方微電子，其在2001年注冊成立，經(jīng)過(guò)多年對光刻機的攻關(guān)，一步步發(fā)展壯大，目前在專(zhuān)項當中是非常核心的裝備企業(yè)。中電科集團的技術(shù)非常扎實(shí)，先后在離子注入機、化學(xué)機械拋光以及在封測設備方面取得了一系列的突破，在產(chǎn)業(yè)當中有極大的貢獻。最后提到了中微半導體，其是一家海歸企業(yè)，也是一家明星企業(yè)，因為在刻制機方面的突破，使得美國放松了對中國刻制設備的限制，并在國際上具有一定的影響力。但除了這幾家企業(yè)之外，國內其它企業(yè)在這個(gè)階段也獲得了良好的發(fā)展，在各自擅長(cháng)的領(lǐng)域專(zhuān)攻技術(shù)，實(shí)現突破，達到了一個(gè)百花齊放的情況，也為如今國內技術(shù)蓬勃發(fā)展打下堅實(shí)的基礎。

在2018 年時(shí)，02 專(zhuān)項的資金已經(jīng)用完且基本停止布局新項目，并在2021 年完成了正式的專(zhuān)項驗收，因此各企業(yè)失去了資源的推動(dòng)力量，從而進(jìn)入所謂的“戰國”時(shí)代。

集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的戰國時(shí)期

“戰國”格局形成的一個(gè)重要外部條件是當時(shí)正是中美科技戰越打越烈的階段，因而影響了整個(gè)運行環(huán)境。國內大生產(chǎn)線(xiàn)的企業(yè)非常需要好的設備，并希望更多企業(yè)能夠解決“卡脖子”的難題。經(jīng)過(guò)“春秋”時(shí)期，每家企業(yè)實(shí)力逐漸增強，甚至有獨立融資發(fā)展的能力，隨著(zhù)19 年科創(chuàng )板開(kāi)板，大批集成電路裝備企業(yè)登陸了科創(chuàng )板，陸陸續續的在資本市場(chǎng)獲得新的發(fā)展。

也使得企業(yè)有能力和資源拓展自己的產(chǎn)品線(xiàn)，每一種設備都出現了兩家甚至更多的競爭者，也就進(jìn)入一個(gè)新的時(shí)代，就是“戰國”時(shí)代，現在仍處于這個(gè)時(shí)代。在光刻、刻蝕、薄膜以及CMP 等技術(shù)領(lǐng)域，我國已培養大量科研人員，并有大批龍頭企業(yè)脫穎而出，形成強勁的戰斗力。企業(yè)、科研實(shí)驗室及設備供應商群雄紛爭，并且還在不斷出現新的競爭者，哪家做的好，優(yōu)勢大，客戶(hù)就會(huì )選擇誰(shuí)，“戰國”局面日益凸顯并仍在不斷擴大。

總體來(lái)講，“戰國”時(shí)代體現出來(lái)的是一個(gè)混戰，互相競爭。大家都熟悉“內卷”這個(gè)詞，現在集成電路的方方面面也開(kāi)始“卷”了起來(lái)，尤其是裝備領(lǐng)域，具體體現在同質(zhì)化競爭，各企業(yè)關(guān)注眼前利益，用最快的方式，例如通過(guò)“挖人”來(lái)獲取一些技術(shù)，這種方式帶來(lái)的只是浪費，中國的集成電路裝備企業(yè)多但資源有限，且要面對國外的打壓、技術(shù)的限制，甚至一些極端性行為，在此情況下，自己內部還在混戰，內憂(yōu)外患，這非常令人擔憂(yōu)，這種情況如果任由發(fā)展，只會(huì )愈演愈烈，帶來(lái)的處境是非常殘酷的。

所以當下必須要改變這樣的狀況，要正面的面對這樣的一個(gè)局勢，消除“內卷”是要共同進(jìn)行努力，中國有一個(gè)典故是“從天下大亂進(jìn)入天下大治”，中國的集成電路裝備產(chǎn)業(yè)在外有艱巨的壓力和發(fā)展環(huán)境，因而內部必須要有措施應對。首先要肯定，在市場(chǎng)機制下的自由競爭并不是壞事，不應反對競爭，也不應反對市場(chǎng)機制，但容易忽視的是國產(chǎn)化率不容樂(lè )觀(guān)，目前在裝備方面還不能實(shí)現高度國產(chǎn)化，尤其在先進(jìn)工藝節點(diǎn)，仍有很多設備目前還接近于空白。那么在美國、日本和歐洲企業(yè)這樣的一個(gè)壟斷之下，國內仍需發(fā)展進(jìn)步。其次在客戶(hù)端也同樣面臨挑戰，國產(chǎn)設備仍未形成體系化，對于某些特殊的工藝需求，或針對一些關(guān)鍵工藝，我們的生產(chǎn)線(xiàn)仍不能完全滿(mǎn)足需求，無(wú)法保證其良率。

競爭要靠技術(shù)上的先進(jìn)性，并不是打價(jià)格戰、靠“內卷”，用銷(xiāo)售的手段來(lái)?yè)層唵?，打價(jià)格戰來(lái)獲得訂單。這種惡性競爭，它基于的不是創(chuàng )新驅動(dòng)，從本質(zhì)上，這不應作為競爭的主要方向。

在我們設備的零部件及材料仍然受限的情況下，設備的關(guān)鍵零部件、傳感器和各種材料生產(chǎn)難度非常大，投入成本也高，而且每一個(gè)關(guān)鍵零部件其實(shí)是不成規模的，沒(méi)有多少企業(yè)愿意做。因此這種情況會(huì )嚴重的制約設備企業(yè)的發(fā)展，需要把更多的精力用在培育零部件的供應體系上，對于裝備企業(yè)是長(cháng)遠發(fā)展的一個(gè)基礎，這樣才有后面的動(dòng)力，需重點(diǎn)關(guān)注。

想要消除畏懼，營(yíng)造健康的一個(gè)發(fā)展生態(tài)，首先要從產(chǎn)業(yè)目標出發(fā)，主要強調協(xié)同創(chuàng )新，在內循環(huán)的基礎之上進(jìn)行合理分工，良性競爭。不要做惡性競爭，更不要去做低水平的復制，要有創(chuàng )新，沒(méi)有創(chuàng )新，最后結局仍是整體被卡住。

共建集成電路裝備產(chǎn)業(yè)命運共同體

裝備產(chǎn)業(yè)也不能光看裝備，要各個(gè)環(huán)節同步發(fā)展，一些基礎性的關(guān)鍵零部件，需要很多廠(chǎng)商共同來(lái)開(kāi)發(fā)，要資源共享、共同開(kāi)發(fā)。缺乏信任，資源封閉對于整個(gè)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是負向作用，朱煜老師認為共建產(chǎn)業(yè)鏈的上下游兼同行之間的彼此信任，推進(jìn)產(chǎn)業(yè)的融合發(fā)展，實(shí)現資源的共享，必須要“打群架”，齊心協(xié)力。集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的技術(shù)壁壘和門(mén)檻非常高，能進(jìn)入這個(gè)行業(yè)的企業(yè)是有限的，希望大家術(shù)業(yè)有專(zhuān)攻，發(fā)揮自己特長(cháng)，都去做高端設計，不要去做賺快錢(qián)的事，各個(gè)企業(yè)要在擅長(cháng)的賽道里頭做精做細，做做到國際水平，真正把國產(chǎn)品牌做大做強，按照商業(yè)規則建立利益分享機制，尊重技術(shù)的創(chuàng )新規律，保持定力，持之以恒，鞏固集成電路的命運共同體。

同時(shí)也希望國家加大政策支持力度，吸引社會(huì )資本對國產(chǎn)設備的投資。把握行業(yè)成長(cháng)的規律，為不同發(fā)展階段的企業(yè)提供精準性支持，同時(shí)也呼吁各個(gè)資本市場(chǎng)的有機組成部分發(fā)揮越來(lái)越大的作用，為半導體行業(yè)的命運共同體做出貢獻，同時(shí)也相信國產(chǎn)企業(yè)必然會(huì )不斷崛起，真正立足于國際市場(chǎng)。

（本文來(lái)源于《EEPW》2023年11月期）