中微推出12英寸薄膜沉積設備Preforma Uniflex? CW

中國上海，2023年5月9日—— 近日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中微公司”，上交所股票代碼：688012）推出自主研發(fā)的12英寸低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)設備Preforma Uniflex? CW。這是中微公司深耕高端微觀(guān)加工設備多年、在半導體薄膜沉積領(lǐng)域取得的新突破，也是實(shí)現公司業(yè)務(wù)多元化增長(cháng)的新動(dòng)能。

圖片注釋?zhuān)?a class="contentlabel" href="http://dyxdggzs.com/news/listbylabel/label/中微公司">中微公司12英寸低壓化學(xué)氣相沉積產(chǎn)品Preforma Uniflex? CW

作為中微公司自主研發(fā)的產(chǎn)出效率高且性能卓越的12英寸LPCVD設備，Preforma Uniflex? CW可靈活配置多達五個(gè)雙反應臺反應腔（十個(gè)反應臺），每個(gè)反應腔可以同時(shí)加工兩片晶圓，在保證較低的生產(chǎn)成本和化學(xué)品消耗的同時(shí)，實(shí)現更高的生產(chǎn)效率。

Preforma Uniflex? CW, 作為中微公司自主研發(fā)的LPCVD設備，配備了完全擁有自主知識產(chǎn)權的優(yōu)化混氣方案及加熱臺, 具有優(yōu)秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調節靈活性，對于彎曲度較大的晶圓，它也具備良好的工藝處理能力。并且其優(yōu)異的階梯覆蓋率和填充能力，可以滿(mǎn)足先進(jìn)邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線(xiàn)的填充應用需求。

探索不息，創(chuàng )新不止。中微公司推出的Preforma Uniflex? CW是公司創(chuàng )新之路的又一里程碑。一直以來(lái)，中微公司踐行“四個(gè)十大”的企業(yè)文化，將產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的十大原則始終貫穿于產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、設計和制造的全過(guò)程，研發(fā)團隊秉持為達到設備高性能和客戶(hù)嚴格要求而開(kāi)發(fā)的理念，堅持技術(shù)創(chuàng )新、設備差異化和知識產(chǎn)權保護?！斑@款LPCVD設備不僅擁有完整、自主的知識產(chǎn)權，還創(chuàng )造了中微公司新設備研發(fā)速度的新紀錄?！敝形⒐炯瘓F副總裁、LPCVD 產(chǎn)品部和公共平臺工程部總經(jīng)理陶珩說(shuō)：“自該款LPCVD設備研發(fā)立項以來(lái)，僅用不到半年時(shí)間，我們就完成了產(chǎn)品設計、生產(chǎn)樣機開(kāi)發(fā)和實(shí)驗室評價(jià)，目前已順利導入客戶(hù)端進(jìn)行生產(chǎn)線(xiàn)核準?！?

如今，數碼產(chǎn)業(yè)已成為國民經(jīng)濟的兩大支柱之一，正在徹底改變人類(lèi)的生產(chǎn)和生活方式。中微公司董事長(cháng)兼總經(jīng)理尹志堯博士表示，“數碼強，則國強；數碼弱，則國弱。半導體微觀(guān)加工設備正是數碼產(chǎn)業(yè)的基石，是發(fā)展集成電路和數碼產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵。工欲善其事，必先利其器，加工微米及納米級微觀(guān)器件的設備對發(fā)展集成電路與微器件工業(yè)、促進(jìn)數碼產(chǎn)業(yè)發(fā)展至關(guān)重要。此次我們推出LPCVD新產(chǎn)品，在等離子體刻蝕設備和MOCVD設備的基礎上，進(jìn)一步拓展了公司的產(chǎn)品線(xiàn)布局，也增強了半導體設備的自主可控性。未來(lái)公司也將繼續瞄準世界科技前沿，堅持三維發(fā)展戰略，推出更多自主設計的半導體設備，為促進(jìn)數碼產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻力量?！?/span>

自2004年成立以來(lái)，中微公司致力于開(kāi)發(fā)和提供具有國際競爭力的微觀(guān)加工的高端設備，現已發(fā)展成為國內高端微觀(guān)加工設備的領(lǐng)軍企業(yè)之一。未來(lái)，公司將繼續打造更多具有國際競爭力的技術(shù)創(chuàng )新與差異化產(chǎn)品，為客戶(hù)和市場(chǎng)提供性能優(yōu)越、生產(chǎn)效率高和性?xún)r(jià)比高的設備解決方案。