羅德與施瓦茨發(fā)布在片器件測試解決方案

羅德與施瓦茨為在片器件的完整射頻性能表征提供測試解決方案，該方案結合了羅德與施瓦茨強大的R&S ZNA矢量網(wǎng)絡(luò )分析儀和FormFactor先進(jìn)的工程探針臺系統。半導體制造商可以在產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)、認證和生產(chǎn)階段執行可靠且可重復的在片器件特性測試。 

整個(gè)在片測量工作由R&S ZNA矢量網(wǎng)絡(luò )分析儀與FormFactor SUMMIT200探針臺系統一起完成。

5G 射頻前端設計師需要確保適當的器件輸出功率和射頻帶寬，同時(shí)兼顧優(yōu)化器件效率。設計流程中的一個(gè)重要階段是驗證射頻設計，盡早獲得相關(guān)設計反饋并評估DUT在晶圓級的功能和性能。在晶圓環(huán)境對 DUT特性進(jìn)行測試所需的測量系統包括矢量網(wǎng)絡(luò )分析儀(VNA)、探針臺、RF探針、電纜或適配器、專(zhuān)用校準方法以及用于特定DUT或相關(guān)的校準片等。

為了滿(mǎn)足這些重要的測量要求，羅德與施瓦茨推出R&S ZNA高端矢量網(wǎng)絡(luò )分析儀，以及頻率在67 GHz以上的擴頻模塊。分析儀可表征同軸和波導級的所有射頻特性參數。FormFactor通過(guò)手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺系統解決晶圓接觸問(wèn)題，系統包括熱控制、高頻探針、探針定位器和校準工具等。FormFactor WinCal XE校準軟件支持整個(gè)測試系統的校準，包括對R&S ZNA的校準。

對整套測試系統進(jìn)行完全校準后，用戶(hù)可以使用R&S ZNA的所有測試功能。通用S參數測試可以表征濾波器和有源器件的特性；失真、增益和交調測試可以驗證功率放大器的特性。該套聯(lián)合測試系統還可對混頻器工作帶寬內的變頻相位進(jìn)行測量。經(jīng)過(guò)完全校準的測試系統允許用戶(hù)直接從VNA獲得所有測試結果，無(wú)需進(jìn)行后處理，因為校準數據已經(jīng)直接應用于VNA之中。羅德與施瓦茨的擴頻模塊擴展至亞太赫茲頻率，例如D波段，它是目前6G研究的重點(diǎn)頻段。擴頻模塊集成到探針臺中，以確保最短的連接并實(shí)現理想的動(dòng)態(tài)范圍，同時(shí)避免因電纜連接到探針尖部而造成的額外損耗。