ASML開(kāi)始供應透射率超過(guò)90%retical的EUV系統

ASML 公司近日宣布將會(huì )自今年開(kāi)始，提供透射率超過(guò) 90% retical的極紫外（EUV）系統。ASML 韓國市場(chǎng)經(jīng)理 MyoungKuy Lee 在 SMC 韓國研討會(huì )上說(shuō)，該公司將開(kāi)始生產(chǎn)透射率超過(guò) 90.6% 的薄片。Lee 表示通過(guò)和 Teradyne 公司的共同合作，這些薄片已經(jīng)確保了 400 瓦的功率耐久性。這家位于荷蘭的工廠(chǎng)設備制造商在 2016 年首次開(kāi)發(fā)了多晶硅 EUV 薄膜。當時(shí)，它的透光率為78%。它在 2018 年開(kāi)發(fā)出的透光率約為 80%，另一種在 2020 年超過(guò) 85%。