普發(fā)真空攜多款解決方案亮相SEMICON China 2021

為期3天的全球半導體年度盛會(huì )SEMICON China 2021在上海隆重開(kāi)幕，作為全球真空技術(shù)和泄漏檢測解決方案的供應商之一，普發(fā)真空在展會(huì )上亮相了其在半導體以及其他先進(jìn)制造業(yè)和科研領(lǐng)域的整體解決方案。

半導體器件的生產(chǎn)離不開(kāi)潔凈的真空環(huán)境。普發(fā)真空在展會(huì )現場(chǎng)展示了其明星產(chǎn)品，包括ASM 392檢漏儀、A 3004多級羅茨泵、A 200L多級羅茨泵以及HiPace 2300渦輪分子泵，與全球半導體領(lǐng)域的友商及媒體朋友們深度交流，共同探討普發(fā)真空如何在中國助力未來(lái)半導體行業(yè)發(fā)展。

普發(fā)真空展臺

普發(fā)真空總經(jīng)理Julien Valentin表示：“盡管受到新冠疫情的影響，中國的半導體行業(yè)仍呈現出逆勢增長(cháng)趨勢。中國市場(chǎng)位列普發(fā)真空增長(cháng)戰略支柱之一，成為促進(jìn)我們全球業(yè)務(wù)發(fā)展的強勁動(dòng)力。未來(lái)，我們將繼續因地制宜，持續深耕中國市場(chǎng)，更好地服務(wù)本土客戶(hù)，推動(dòng)中國第三代半導體產(chǎn)業(yè)騰飛?！?/p>

節能高效靈敏，滿(mǎn)足嚴苛的半導體制造應用

半導體和平板顯示器行業(yè)對于真空生產(chǎn)環(huán)境要求極為嚴苛，這些應用要求真空儀器具備快速的抽空時(shí)間和高靈敏度。 普發(fā)真空的ASM 392檢漏儀無(wú)與倫比的靈敏度和精確度恰好能夠滿(mǎn)足這一需求。除了檢漏儀都會(huì )配備的干式非接觸式前級真空泵和高真空渦輪分子泵之外，它裝有一臺額外的渦輪分子泵，能縮短泄漏檢測時(shí)間，同時(shí)不會(huì )在尺寸和可操作性方面有任何妥協(xié)，人機工學(xué)設計獨特，可操作性強，可用于各種測試場(chǎng)地，即使狹小的空間也應對自如，這都使其成為清潔環(huán)境下各種組件泄漏測試的理想工具。

對于半導體晶圓、顯示屏及太陽(yáng)能電池等嚴苛型應用，普發(fā)真空展示了A 3004多級羅茨泵。它的抽速高達3,000 m3/h，工藝壽命延長(cháng)，能耗降低，是市場(chǎng)上運營(yíng)維護成本最低的產(chǎn)品之一。除此以外，該系列泵還配備了一個(gè)擴展的溫度管理，擴大了工作溫度范圍，提高了工藝可靠性。

高能效A 3004多級羅茨泵，抽速可達3000m³/h

作為能適應高吞吐量應用和頻繁抽空循環(huán)的全新 200 m³/h 級別產(chǎn)品，A 200L多級羅茨泵更是展示出了普發(fā)真空在集成干式泵市場(chǎng)中的全球領(lǐng)導地位。A 100 L 泵對于半導體行業(yè)生產(chǎn)設施的泵集成有革命性的意義——這種泵以干式多級羅茨泵技術(shù)為基礎，盡管尺寸小，卻依然具有高抽速和短抽空時(shí)間。如今，普發(fā)真空A 200系列在全世界范圍內眾多 300 mm 半導體晶圓工廠(chǎng)都已安裝。

此外，普發(fā)真空還重點(diǎn)展示了能夠應用于侵蝕性氣體環(huán)境的HiPace 2300渦輪分子泵。這款緊湊且性能卓越的渦輪分子泵具有高性?xún)r(jià)比和安裝角度的靈活性，革命性的轉子設計為其帶來(lái)更出色的抽速，更好的前級泵兼容性和更大的氣流量，對于小分子氣體具有更高的壓縮比。

緊湊的復合軸承HiPace 2300渦輪分子泵

普發(fā)真空高度重視半導體領(lǐng)域的業(yè)務(wù)發(fā)展。2019年在無(wú)錫擴建的新工廠(chǎng)更是增加了干泵生產(chǎn)、全新泄漏測試系統ATC的生產(chǎn)以及泵站組裝等業(yè)務(wù)能力，更好服務(wù)中國本土客戶(hù)需求的同時(shí)，還能夠促進(jìn)公司在真空鍍膜、半導體等市場(chǎng)的戰略增長(cháng)。

自1890年創(chuàng )立以來(lái)，普發(fā)真空不斷樹(shù)立真空技術(shù)的新標準，并通過(guò)持續開(kāi)發(fā)創(chuàng )新成果并成功推向市場(chǎng)，幫助科學(xué)界與工業(yè)界從中受益。未來(lái)，普發(fā)真空期盼以創(chuàng )造出最先進(jìn)的真空技術(shù)解決方案作為源動(dòng)力，以最高標準要求自身，不斷地創(chuàng )新，為中國客戶(hù)提供更豐富的靈感和更多樣的產(chǎn)品組合。