上海松江產(chǎn)LED晶圓倒片機將進(jìn)入規模產(chǎn)線(xiàn)運行
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時(shí)間：2019-09-09
來(lái)源：SEMI大半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)
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由上海福賽特智能設備有限公司獨立研發(fā)的LED半導體晶圓倒片機將于年內在三安生產(chǎn)線(xiàn)投入量產(chǎn)運營(yíng)。該設備用于LED外延工藝，可實(shí)現晶圓從原料倉至PVD工序間，以及PVD工序到MOCVD間的周轉。
本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/201909/404567.htm上海福賽特介紹，該設備采用行業(yè)領(lǐng)先的潔凈機器人、先進(jìn)的激光傳感器和CCD，以及自主研發(fā)的載盤(pán)尋邊器等，配合自主研發(fā)的信息化系統，可自動(dòng)與企業(yè)生產(chǎn)的MES系統實(shí)現數據交互，連接各個(gè)工藝段中的獨立設備系統，組成閉環(huán)的智能信息化系統。同時(shí)，可實(shí)現晶圓自動(dòng)上下片、晶圓尋邊、晶圓Wafer ID自動(dòng)讀取和校對、生產(chǎn)工單的解批和并批等。
上海福賽特表示，即將量產(chǎn)的LED半導體晶圓倒片機中的機電設計、控制軟件、智能算法等十多項技術(shù)均由公司獨立自主研發(fā)，擁有自主知識產(chǎn)權。
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