為我國集成電路產(chǎn)業(yè)打下強芯劑，中試基地打通科研成果到產(chǎn)業(yè)化最后一公里

　　近年來(lái)，“中試基地”在力促創(chuàng )新的各地政策中出現的頻率越來(lái)越高，也成為多地政府工作的重點(diǎn)，例如北京經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區就提出要重點(diǎn)培育集成電路IP設計等10個(gè)產(chǎn)業(yè)中試基地。

　　由于科技成果與產(chǎn)業(yè)化市場(chǎng)“距離”甚遠，中試基地便應運而生。中試基地可以對科技成果進(jìn)行二次開(kāi)發(fā)，并可模擬實(shí)際生產(chǎn)工況來(lái)驗證，極大地促進(jìn)科技成果向經(jīng)濟市場(chǎng)轉化。甚至有數據顯示，科技成果經(jīng)過(guò)中試驗證后，轉化成功率可達50%～80%，而未經(jīng)過(guò)中試基地驗證的，其轉化成功率低于30%。

　　我國中試基地起源于20世紀90年代初，當時(shí)主要依托科研院所成立，而后國家對中試基地的支持也擴展到了高校。當然，也有企業(yè)籌建的中試基地。中試基地一般包括場(chǎng)地和設備兩大因素，場(chǎng)地包括技術(shù)研發(fā)平臺、中試基地線(xiàn)、小規模生產(chǎn)廠(chǎng)房、孵化器平臺等，設備包括實(shí)驗設備、試制生產(chǎn)設備、在線(xiàn)檢測設備等。

　　在集成電路領(lǐng)域也有一些典型的中試基地案例。

　　上海微技術(shù)工業(yè)研究院

　　上海微技術(shù)工業(yè)研究院是由中國科學(xué)院上海微系統與信息技術(shù)研究所和上海市嘉定區人民政府于2013年聯(lián)合成立的，目標是打造世界級傳感器及超越摩爾領(lǐng)域新型研發(fā)機構并培育物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)產(chǎn)業(yè)群，集研發(fā)、工程、孵化于一體，為創(chuàng )新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案。

　　2017年9月，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院建設的8英寸超越摩爾研發(fā)中試線(xiàn)正式啟動(dòng)，當年12月成功通線(xiàn)，首款傳感器產(chǎn)品獲得驗證通過(guò)。該中試線(xiàn)填補了我國微機電系統智能傳感器領(lǐng)域缺乏小批量中間性試驗生產(chǎn)線(xiàn)的空白，其前期產(chǎn)能為每月生產(chǎn)3000片左右晶圓，后期將達到5000片。

　　據悉，目前運動(dòng)傳感器、聲學(xué)傳感器、環(huán)境傳感器以及生物傳感器是工研院現階段聚焦的主要方向。未來(lái)，將重點(diǎn)布局硅光技術(shù)等領(lǐng)域。

　　第三代半導體材料及應用聯(lián)合創(chuàng )新基地

　　2016年可謂是我國第三代半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“元年”，而其標志性事件便是北京第三代半導體材料及應用聯(lián)合創(chuàng )新基地動(dòng)工和第三代半導體南方基地落戶(hù)廣東。

　　可見(jiàn)，第三代半導體材料及應用聯(lián)合創(chuàng )新基地對于我國第三代半導體產(chǎn)業(yè)而言意義深刻。

　　第三代半導體材料及應用聯(lián)合創(chuàng )新基地于2015年4月發(fā)起設立，2016年7月20日在中關(guān)村順義園啟動(dòng)建設，總投資超10億元，將建設第三代半導體工藝、封裝測試、可靠性檢測、科技服務(wù)等基礎平臺，建設主體為國家半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟與順義區政府。據悉，該基地已于2018年12月竣工，2019年將投入使用。

　　第三代半導體材料市場(chǎng)前景廣闊，是北京布局高精尖產(chǎn)業(yè)的重要內容，更是順義確定發(fā)展的三大創(chuàng )新型產(chǎn)業(yè)集群之一。近年來(lái)，順義區圍繞加快第三代半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出了深度布局，而第三代半導體材料及應用聯(lián)合創(chuàng )新基地便是布局中的重要一環(huán)。

　　北京第三代半導體材料及應用聯(lián)合創(chuàng )新基地與第三代半導體南方基地還存在一定的差異。北京基地重點(diǎn)打造集研發(fā)中試平臺、產(chǎn)業(yè)服務(wù)平臺、產(chǎn)業(yè)基金和園區建設為一體的產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新生態(tài)系統;南方基地的建設是以“研究院公司+研究院+產(chǎn)業(yè)園區+產(chǎn)業(yè)基金”模式建設全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)創(chuàng )新體，完全以市場(chǎng)化為導向。

　　國家專(zhuān)用集成電路系統工程技術(shù)研究中心中試基地

　　國家專(zhuān)用集成電路系統工程技術(shù)研究中心(國家ASIC工程中心)組建于1992年，由教育部、江蘇省科技廳主管，設有專(zhuān)用集成電路實(shí)驗室、江蘇省產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院專(zhuān)用集成電路技術(shù)研究所及中試基地。

　　該中心的成果轉化中試基地是江蘇東大集成電路系統工程技術(shù)有限公司，該公司成立于2002年，以IC設計、嵌入式系統設計為核心，致力于掌握嵌入式系統的核心技術(shù)和提供自主知識產(chǎn)權的信息終端產(chǎn)品與解決方案，產(chǎn)品涉及金融支付產(chǎn)品、移動(dòng)信息終端產(chǎn)品以及集成電路設計服務(wù)。

　　2009年5月，工程中心成立國家ASIC工程中心(無(wú)錫)，無(wú)錫中心由5個(gè)關(guān)鍵共性技術(shù)研發(fā)實(shí)驗室及中試基地(無(wú)錫東集電子有限責任公司)組成，實(shí)驗室面向SoC領(lǐng)域開(kāi)展關(guān)鍵共性技術(shù)研發(fā)，中試基地開(kāi)展技術(shù)成果的中試及自主轉化。

　　蘇州納米城

　　蘇州納米城英文名為“NanopolisSuzhou”，位于蘇州工業(yè)園區金雞湖大道99號，占地約100公頃，規劃建筑面積150萬(wàn)平方米，目前是全球最大的納米技術(shù)應用產(chǎn)業(yè)綜合社區，也是國家納米技術(shù)國際創(chuàng )新園、國家納米高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地的核心區域。

　　數據顯示，蘇州納米城入駐企業(yè)已超300家，形成了納米新材料和MEMS兩大企業(yè)集群，在MEMS、氮化鎵材料、激光器、LED、印刷電子、微納柔性制造等多個(gè)領(lǐng)域實(shí)現了國際一流、國內領(lǐng)先的核心關(guān)鍵技術(shù)的突破。

　　蘇州納米城由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設與管理，集“創(chuàng )新研發(fā)、工程化中試、小規模生產(chǎn)、成果轉化、專(zhuān)利運營(yíng)、產(chǎn)業(yè)服務(wù)、總部辦公、會(huì )議展示、綜合配套”等產(chǎn)業(yè)功能于一體。

　　蘇州納米科技發(fā)展有限公司旗下全資子公司MEMSRIGHT擁有6英寸微納機電制造(MEMS)中試平臺，這是我國首條工業(yè)級、市場(chǎng)化、全開(kāi)放運營(yíng)的中試線(xiàn)，能夠為中小MEMS企業(yè)成長(cháng)提供助力。

　　最近刷屏的“新型仿生柔性傳感器研發(fā)獲新突破”就源自于蘇州納米城的一家企業(yè)——能斯達。漢威科技子公司能斯達由中國科學(xué)院蘇州納米所研究員張珽博士創(chuàng )立，致力于柔性壓力傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，開(kāi)創(chuàng )了國內柔性智能感知技術(shù)和印刷電子的領(lǐng)先品牌，公司將柔性感知傳感器與智能終端緊密結合，打造了柔性傳感智能化平臺。

　　國家02專(zhuān)項光刻機浸液系統研制與中試基地

　　2018年，國家02專(zhuān)項光刻機浸液系統研制與中試基地項目簽約落戶(hù)浙江杭州青山湖微納智造小鎮。該項目致力于研發(fā)浸沒(méi)式光刻機的核心部件之一浸液系統。

　　浸液系統是浸沒(méi)式光刻機四大核心部件之一，是光刻機突破物理極限向更小技術(shù)節點(diǎn)發(fā)展的標志性技術(shù)。目前，國際上有擁有浸液系統技術(shù)的廠(chǎng)商寥寥無(wú)幾，僅有荷蘭ASML、日本Nikon等。

　　所謂02科技重大專(zhuān)項，即為“極大規模集成電路制造技術(shù)及成套工藝”專(zhuān)項。浸液系統項目是浙江在02重大專(zhuān)項光刻機研發(fā)任務(wù)中承擔的體量最大、技術(shù)最尖端的研發(fā)項目。該項目有望打破國外壟斷，打造擁有自主知識產(chǎn)權的高端光刻機設備，甚至對于我國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展都具有重大意義。

　　當然，隨著(zhù)不同領(lǐng)域、不同規模的中試基地在我國相繼而生，中試基地也暴露出金融服務(wù)體系不健全、信息對接不暢通等問(wèn)題。不過(guò)隨著(zhù)“中試基地”被寫(xiě)進(jìn)各地政策，受重視度越來(lái)越高，這些情況也將得到改善。

　　此外，還有一大批中試基地在“路上”，例如2018年江蘇表示將籌建集成電路工藝研究所，該研究所希望通過(guò)構建一個(gè)8英寸的中試線(xiàn)制造平臺，來(lái)帶動(dòng)江蘇省集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，孵化自己的臺積電。