電源：大型UPS在半導體制造廠(chǎng)的應用

標簽 ：半導體 UPS電源

一.引言

半導體制造業(yè)是全球十大重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)之一,是技術(shù)資金密集,技術(shù)進(jìn)步和投資風(fēng)險高的產(chǎn)業(yè).中緯公司是浙江省至今唯一的6英夾酒制造項目,該項目于2003年7月投產(chǎn)以來(lái),當前的產(chǎn)量已達10000片/月.半導體制造廠(chǎng)對電力網(wǎng)的穩定運行有較高的要求.晶園代工企業(yè)的精密設備不能忍受這種短暫的電壓閃變、跌落、瞬時(shí)供電中斷,每次電壓閃變都可能導致生產(chǎn)出廢品，甚至使得某些機器出現重新啟動(dòng)的現象。

公司裝有Powerware 9315 UPS 2*200KVA,3*625KVA共計5臺.共容量:2275KVA,位于PUB3F, 2*200KVA主要為FAC系統的UPW,PCW,PCT,PV及FAB的部分照明提供可靠電力, 3*6250KVA主要為FAB的TOOLS(注入、擴散、光刻)等機臺提供穩定的供電之用.

二. Powerware 9315系列UPS工作方式與性能特點(diǎn)

1.UPS本公司的工作示意圖如下:

a. 2*200KVA并聯(lián)單線(xiàn)圖

b. 3*625KVA (2+1)熱同步并機單線(xiàn)圖

2. Powerware 9315系列UPS特點(diǎn)：

a、獨特且可靠的并機技術(shù)
　　

Powerware 9315采用獨特的“熱同步”直接并機技術(shù)，在各UPS單機之間無(wú)需通訊電纜連接來(lái)傳遞實(shí)時(shí)信號，就可實(shí)現并機的“均流”控制。對于并機系統中的各臺UPS，它們都處于完全“平等”的調控狀態(tài)之中。采用獨特的“小步長(cháng)，高頻率”同步相位調制法。每臺UPS能“智能”地將位于并機系統中的各臺UPS的同步跟蹤調到最佳狀態(tài)(彼此之間的相位差幾乎為零)和實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)地調節所帶的負載百分比。實(shí)現高精度的負載均分，并在逆變器萬(wàn)一發(fā)生故障時(shí)，將有故障的UPS迅速、可靠地從并機系統中脫機，從而確保并機系統繼續向用戶(hù)提供高質(zhì)量的逆變器電源。并機系統的負載電流“均流”不均衡度小于2%

b、智能化電池管理系統DC Expert
　　

為確保電池的有效使用壽命，配置具有完善的智能化電池管理系統，獨特的電池測試維護軟件。利用DC Expert的“自診斷”定時(shí)監控功能使您對電池的維護進(jìn)行預先策劃，從而避免在發(fā)生市電停電時(shí)，因電池損壞而引起負載供電中斷的重大事故，提高整機供電系統的可靠性。

c、獨特的控制板通訊技術(shù)
　　

采用高性能微處理器“數字信號控制技術(shù)”+軟件可編程調控技術(shù)+控制板間的網(wǎng)絡(luò )通訊技術(shù)，大大減少控制板數量和控制板之間的傳輸連接線(xiàn)，確保UPS具有高可靠性和高一致性。

d、極強的抗過(guò)載能力
　　

具有極強的抗輸出過(guò)載能力(300%,300毫秒)+優(yōu)良的抗輸出短路限流能力，可確保逆變器安全可靠地運行。

e、大屏幕液晶顯示功能

f、遠程監控功能及電源監察院控管理軟件
　　

Powerware 9315系列UPS同時(shí)向用戶(hù)提供RS232和RS485接口，一組繼電器干接點(diǎn)輸出接口和一組“用戶(hù)自定義”報警信號輸入接口等四種通訊接口，再配置上POWERWARE公司所提供的電源監管軟件，就可組成具有網(wǎng)絡(luò )管理功能的智能化UPS供電系統，從而可實(shí)現遠程集中監控。PowerVision軟件提供了預先報警的功能，而ForeSeer軟件通過(guò)SNMP為您提供全方位的企業(yè)管理。