國產(chǎn)主流集成電路核心設備首次實(shí)現批量銷(xiāo)售

      科技部有關(guān)人士稱(chēng)，這是我國國產(chǎn)主流集成電路核心設備產(chǎn)品第一次實(shí)現市場(chǎng)銷(xiāo)售，標志著(zhù)我國集成電路制造核心裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化取得了重大突破。這兩種設備的研制成功使我國高端集成電路核心設備技術(shù)水平實(shí)現了從無(wú)到有。 
　　集成電路核心裝備“中國造” 

　　集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展為集成電路制造裝備帶來(lái)了巨大的市場(chǎng)空間。據了解，建一條集成電路生產(chǎn)線(xiàn)大概需投資數億美元到20億美元，其中70%-80%用于購買(mǎi)設備。而目前我國已建和在建的8英寸以上集成電路制造廠(chǎng)的核心設備完全依賴(lài)進(jìn)口。 

　　面對急速增長(cháng)的市場(chǎng)，我國集成電路裝備制造業(yè)從生產(chǎn)規模、研發(fā)水平、投資強度以及人才聚集等方面都存在著(zhù)很大差距，尚未形成可持續發(fā)展的產(chǎn)業(yè)規模。 

　　科技部高新技術(shù)發(fā)展及產(chǎn)業(yè)化司司長(cháng)馮記春表示，為了改變我國集成電路產(chǎn)業(yè)特別是裝備等核心技術(shù)受制于人的局面，“十五”期間，科技部根據國家重大戰略需求

，在863計劃中設立了“集成電路制造裝備”重大專(zhuān)項，重點(diǎn)研制集成電路制造設備的部分核心設備。 
　　由北京市組織實(shí)施的“100nm 8英寸多晶硅刻蝕機和大傾角離子注入機”，短短3年多就完成了產(chǎn)品研制，并在大生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行了近一年的檢驗考核?？己诉^(guò)程完全按照國際化驗收標準?？己藴y試結論表明，國產(chǎn)刻蝕機與注入機的設備設計參數、硬件性能參數、工藝基本參數等設備技術(shù)指標達到國際同類(lèi)130nm-100nm生產(chǎn)設備標準。與國外同類(lèi)產(chǎn)品相比，我國自主研發(fā)的產(chǎn)品銷(xiāo)售價(jià)格要便宜20%左右。 

　　馮記春稱(chēng)，這兩種設備的技術(shù)水平基本與我國集成電路制造業(yè)主流技術(shù)水平同步。未來(lái)2-3年，我國集成電路制造業(yè)從180nm向130nm和90nm升級時(shí)有可能使用國產(chǎn)裝備，有助于扭轉我國集成電路制造裝備受制于人的局面，對我國集成電路制造裝備的自主創(chuàng )新能力和核心競爭力具有重要戰略意義。 

　　企業(yè)為主體的創(chuàng )新模式 

　　值得一提的是，“集成電路制造裝備”重大專(zhuān)項的研發(fā)采用以企業(yè)為主體，科研院所和高校共同參與的新型產(chǎn)學(xué)研結合模式。北京北方微電子公司和北京中科信公司分別承擔刻蝕機和注入機項目。這種“以企業(yè)為主體、市場(chǎng)為導向，以實(shí)現產(chǎn)業(yè)化為目標、產(chǎn)學(xué)研相結合”的技術(shù)路線(xiàn)顯然取得了成效。 

　　在3年多研發(fā)過(guò)程中，參與單位認真分析國際專(zhuān)利，注重知識產(chǎn)權保護，初步構建起自主知識產(chǎn)權保護體系，培養了一支創(chuàng )新團隊。不僅如此，該專(zhuān)項在集成資源、改革成果考核驗收機制和引入第三方監理等方面也做了有益探索。 

　　此次采購合同由北方微電子公司和中科信公司分別與我國最大的集成電路代工廠(chǎng)中芯國際公司簽訂。這是國內集成電路設備企業(yè)第一次成為主流生產(chǎn)廠(chǎng)的供應商，實(shí)現了我國集成電路制造裝備的重大技術(shù)跨越。 

　　真正實(shí)現產(chǎn)業(yè)化尚需努力 

　　據了解，一條集成電路生產(chǎn)線(xiàn)有近200種設備，僅前道工序的關(guān)鍵設備就有20多種，其中最為關(guān)鍵的核心設備有7種。雖然我國在刻蝕機和注入機兩種高端核心設備產(chǎn)業(yè)化方面取得重大突破，但所涉及的面還很有限。 

　　專(zhuān)家認為，要想真正實(shí)現國產(chǎn)集成電路裝備的產(chǎn)業(yè)化，必須提高基礎工業(yè)的加工、制造和材料等技術(shù)水平。沒(méi)有相應產(chǎn)業(yè)鏈的支撐，集成電路裝備的發(fā)展將受到很大限制。 

　　集成電路裝備制造業(yè)涉及材料、工藝、化學(xué)試劑等多個(gè)科技領(lǐng)域的最新成就，目前我國在這些方面與國外有很大差距。專(zhuān)家建議，要想形成國產(chǎn)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)集群，急需加強研發(fā)水平。 

　　國家中長(cháng)期科技發(fā)展規劃綱要已確定“十一五”期間實(shí)施“集成電路制造裝備與成套工藝”重大專(zhuān)項，此次國產(chǎn)集成電路核心設備產(chǎn)品實(shí)現批量銷(xiāo)售，為該重大專(zhuān)項的實(shí)施奠定了基礎。 

　　據預測，到2010年，我國集成電路產(chǎn)業(yè)投資累計將達到3500億元，其中大部分將用于集成電路制造裝備。這一趨勢使得中國市場(chǎng)正在成為全球集成電路制造裝備業(yè)競爭的焦點(diǎn)。