將MEMS傳感器用于各種創(chuàng )新的消費類(lèi)產(chǎn)品設計

　　因為技術(shù)和經(jīng)濟的原因，MEMS傳感器曾經(jīng)被局限在汽車(chē)市場(chǎng)和工業(yè)應用領(lǐng)域；今天，隨著(zhù)MEMS傳感器越來(lái)越小，價(jià)格越來(lái)越低，能效越來(lái)越高，設計和應用空間不斷擴大，它在消費類(lèi)應用市場(chǎng)的普及率正在不斷提高。

　　制造這些器件所采用的微加工技術(shù)與制造基本集成電路所采用的工序和工藝大同小異，只不過(guò)微加工的產(chǎn)品通常是一個(gè)能夠活動(dòng)的立體的機械結構(如圖1)。

　　雖然制造MEMS產(chǎn)品可以使用多種不同的材料，但是硅越來(lái)越受到業(yè)界的歡迎，因為硅的電氣、機械和熱屬性都非常出色。此外，半導體廠(chǎng)商還意識到，如果使用成熟的芯片量產(chǎn)制造技術(shù)，在晶片上一次可以制造數以萬(wàn)計的MEMS器件。這就是說(shuō)，MEMS可以利用微電子器件現有的規模經(jīng)濟，獲得更大的成本優(yōu)勢，特別是在進(jìn)軍消費類(lèi)產(chǎn)品市場(chǎng)時(shí)，利用好這個(gè)優(yōu)勢更加重要。因此，以硅為MEMS材料的吸引力最大。

　　過(guò)去，在沒(méi)有這項技術(shù)之前，有很多應用是不可能的；今天，這項技術(shù)正在將這些應用變?yōu)榭赡堋?/p>

　　手提電腦、手機、便攜媒體播放器和移動(dòng)終端設備內的硬盤(pán)驅動(dòng)器墜落保護功能，是MEMS運動(dòng)傳感器在消費電子市場(chǎng)的具有重要歷史意義的代表性應用之一。

　　在手提電腦內的三軸加速計可以監測加速度，因為具有特定的功能和數據處理電路，它能夠檢測到硬盤(pán)驅動(dòng)器的意外摔落事故，并及時(shí)命令讀寫(xiě)頭縮回到安全位置，以防電腦最終摔落在地板上時(shí)損壞讀寫(xiě)頭。

　　健身和健康監測是MEMS傳感器的另一類(lèi)具有代表性的應用。

　　計步表或計步器是利用三軸MEMS傳感器實(shí)現健身和健康監測功能的代表性應用，在特定的情況下，計步器的傳感器能夠精確地測定在步行和跑步過(guò)程中作用在系統上的加速度，通過(guò)處理加速度數據，計步器顯示用戶(hù)走過(guò)的步數和速度，以及在身體運動(dòng)過(guò)程中所消耗掉的熱量。

　　圖 1 ： 基于MEMS的線(xiàn)性加速計。