北方微電子 高端微電子裝備國產(chǎn)化的實(shí)踐者

　　北方微電子自2001年10月成立以來(lái)，就肩負發(fā)展民族產(chǎn)業(yè)之重任，以推進(jìn)高端微電子裝備國產(chǎn)化為使命，通過(guò)實(shí)施國家科技重大專(zhuān)項，實(shí)現了我國高端集成電路裝備的技術(shù)提升，同時(shí)積極向節能環(huán)保、新能源等新興戰略產(chǎn)業(yè)拓展。

　　2011年10月29日，北方微電子 “成立十周年暨新廠(chǎng)房落成”慶典在其亦莊新址隆重舉行?；顒?dòng)由國家02科技重大專(zhuān)項實(shí)施管理辦公室主任梁勝主持，北京市市委常委、常務(wù)副市長(cháng)吉林、北京經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區管委會(huì )主任張伯旭、國家02科技重大專(zhuān)項領(lǐng)導小組辦公室主任戴國強、總體專(zhuān)家組組長(cháng)葉甜春、北京電子控股有限責任公司董事長(cháng)、黨委書(shū)記兼北方微電子公司董事長(cháng)王巖等領(lǐng)導，以及用戶(hù)、供應商、合作單位等400余位嘉賓出席慶典，共賀北方微電子成立十周年暨新廠(chǎng)房落成。

　　張伯旭主任、葉甜春組長(cháng)、戴國強主任分別致辭，對北方微電子在十五、十一五期間取得的顯著(zhù)成績(jì)表示祝賀，并表達了對北方微電子未來(lái)發(fā)展的美好祝愿和堅定信心。華虹NEC副總裁雷海波、上海藍光副總裁劉理想等用戶(hù)代表在會(huì )上發(fā)言，高度認可與北方微電子公司的合作，繼續攜手并進(jìn)共創(chuàng )未來(lái)。

　　吉林副市長(cháng)表示，北京會(huì )繼續加大對微電子領(lǐng)域高新技術(shù)發(fā)展的扶持力度。同時(shí)，要求北方微電子抓住機遇，積極參與國內外競爭，不斷發(fā)展壯大，為我國高端微電子裝備的技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化做出新的貢獻。

　　10年來(lái)，北方微電子在多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域實(shí)現了重大突破。

　　一、刻蝕機等產(chǎn)品的成功研制，填補了國內4項空白，帶動(dòng)我國集成電路裝備研制水平的顯著(zhù)提升

　　1)8英寸集成電路刻蝕機：國際先進(jìn)水平，填補國內空白。國內首臺進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)使用的8英寸集成電路核心工藝裝備，已成功銷(xiāo)往中芯國際、上海華虹、上海宏力、國家集成電路先導工藝研發(fā)中心等用戶(hù)，成為大生產(chǎn)線(xiàn)上的主力機臺，訂單累計1億元人民幣。

　　2)12英寸集成電路刻蝕機：國際先進(jìn)水平，填補國內空白。國內首臺進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)驗證的12英寸集成電路核心工藝裝備，已完成主流生產(chǎn)線(xiàn)的工藝考核，主要工藝性能指標達到國際同類(lèi)產(chǎn)品水平，已取得客戶(hù)批量采購意向。

　　3)半導體照明刻蝕機：國際領(lǐng)先水平，填補國內空白。全球范圍內首次將12英寸集成電路刻蝕工藝技術(shù)應用于半導體照明領(lǐng)域，已實(shí)現對彩虹藍光、三安光電、中鎵半導體、同方光電、大連路明、湖南華磊、神光安瑞等主流客戶(hù)的銷(xiāo)售，2011年市場(chǎng)占有率超過(guò)50%(其中應用于藍寶石圖形化襯底的刻蝕機市場(chǎng)占有率超過(guò)80%)，訂單累計1億元人民幣。

　　4)太陽(yáng)能光伏PECVD(等離子增強化學(xué)氣相沉積)設備：國際先進(jìn)水平，填補國內空白。設備采用平板式大產(chǎn)能設計，應用多項集成電路核心技術(shù)，設備成膜的均勻性、減反射特性以及折射率等工藝技術(shù)指標均達到國際先進(jìn)水平，已取得生產(chǎn)線(xiàn)量產(chǎn)驗證。

　　二、PVD設備、MOCVD設備研發(fā)進(jìn)展順利，產(chǎn)品創(chuàng )新不斷升級，帶動(dòng)本土企業(yè)擺脫國外壟斷，搶占產(chǎn)業(yè)制高點(diǎn)。

　　1)12英寸PVD(物理氣相沉積)設備：該產(chǎn)品由歸國海外專(zhuān)家、國內首批“千人計劃”學(xué)者帶隊攻關(guān)，采用國際領(lǐng)先的設計理念，產(chǎn)品可應用于銅制程工藝，目前已完成客戶(hù)產(chǎn)品工藝測試。該產(chǎn)品研制成功后，將打破國外廠(chǎng)商壟斷。該產(chǎn)品還可拓展應用于半導體照明、TSV先進(jìn)封裝領(lǐng)域。

　　2)金屬有機物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設備：該產(chǎn)品國際領(lǐng)先的設計理念，一次可完成100片以上的2英寸芯片外延，產(chǎn)能是國外設備的2倍，已完成原理樣機的設計與組裝。該產(chǎn)品研制成功后，將大大提升我國半導體照明領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)競爭力。

　　北方微電子通過(guò)十年的發(fā)展，掌握了多項核心技術(shù)，截至2011年6月底，共計申請國內專(zhuān)利700余件，其中發(fā)明專(zhuān)利697件，PCT申請49件。

　　今年，是北方微電子成立的第十個(gè)年頭。近日，公司研發(fā)的12英寸65nm高密度等離子刻蝕機通過(guò)中芯國際北京工廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)全線(xiàn)工藝驗證，這標志著(zhù)繼成功攻克8英寸100nm刻蝕技術(shù)難關(guān)后，北方微電子在追趕國際領(lǐng)先集成電路裝備技術(shù)的道路上，又邁進(jìn)了一大步。

　　今年，北方微電子又承接了國家“十二五”《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》重大專(zhuān)項(02專(zhuān)項)“32-22nm柵刻蝕機產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目、“45-22nm銅互連PVD設備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目。

　　北方微電子董事長(cháng)王巖在致辭中表示，北方微電子將繼續以推進(jìn)高端微電子裝備國產(chǎn)化為使命，確保國家科技重大專(zhuān)項的完成，實(shí)現我國高端集成電路裝備的技術(shù)提升，同時(shí)將積極向節能環(huán)保、新能源等新興戰略產(chǎn)業(yè)拓展，爭取在更多技術(shù)領(lǐng)域實(shí)現重大突破。