?亞利桑那州立大學(xué)與NASA合作，在太空中制造微電子產(chǎn)品

Ying-Chen「Daphne」Chen 是美國亞利桑那州立大學(xué) Ira A. Fulton 工程學(xué)院的電氣工程助理教授 ，她作為 NASA 研究的聯(lián)合首席研究員，與學(xué)術(shù)界和行業(yè)合作者一起制定了太空中的半導體器件建筑藍圖。

在太空中制造微電子產(chǎn)品有可能消除半導體制造過(guò)程中冗長(cháng)且昂貴的關(guān)鍵步驟，特別是對于地球上使用的基于 3D 氧化物的電阻式 隨機存取存儲器 (RRAM) 設備，這些 3D 器件與傳統 2D RRAM 器件的不同之處在于，它們是垂直堆疊的存儲器存儲單元層，而不是傳統的平面排列，從而可以在單個(gè)器件中實(shí)現更小的占位面積和更多的存儲空間。

該團隊的研究由 CHIPS 和科學(xué)法案 以及 NASA 太空生產(chǎn)應用程序項目的資金資助。該項目由首席研究員 、美國宇航局高級材料工程師柯蒂斯·希爾 (Curtis Hill) 領(lǐng)導，旨在利用太空微重力環(huán)境產(chǎn)生的減壓來(lái)消除蝕刻的需要，蝕刻是在芯片表面加深溝槽，為芯片導電金屬觸點(diǎn)留出足夠的空間。

由于需要較厚的半導體晶圓薄膜材料層來(lái)補償重力壓力，因此，在地球半導體制造工藝中需要進(jìn)行蝕刻。研究人員假設，由于缺乏重力，可以在太空中使用更薄的薄膜層，從而在制造過(guò)程中已經(jīng)形成了足夠深的溝槽，無(wú)需進(jìn)行蝕刻。

上圖所示為助理教授 Ying-Chen「Daphne」Chen 站在顯示月球圖像的屏幕前，手里拿著(zhù)反映地球模型的半導體材料。她正與美國宇航局以及工業(yè)界和學(xué)術(shù)界的合作者合作，開(kāi)發(fā)一種微重力環(huán)境下的微電子制造方法，以減少制造設備所需的資源。

「為了制造芯片，晶圓廠(chǎng)通常需要在地球上的潔凈室中進(jìn)行許多步驟，」富爾頓學(xué)院電氣、計算機和能源工程學(xué)院的教員陳說(shuō)：「該項目的目標是使用能夠制造 3D 堆疊結構、活性層和金屬的打印機來(lái)實(shí)現一體式打印?！?/span>

使用這些半導體印刷設備（其占地面積比地球上的制造設施小得多）將減少制造 3D RRAM 設備所需的時(shí)間，并消除對大量個(gè)人防護設備的需求。許多行業(yè)合作者都對該方法感興趣，包括 Tokyo Electron America、Axiom Space、英特爾和富士膠片，這些公司都參與了這項研究。

「對于未來(lái)的商業(yè)化制造，更多的運輸公司將加入太空運輸的行列，從而降低成本并提高競爭力，」陳說(shuō)：「我看到許多這樣的技術(shù)，或者它們的高速自動(dòng)化版本，最終可以在小型、近地軌道工廠(chǎng)中建立一個(gè)用于芯片制造和表征的半導體生態(tài)系統?！?/span>

來(lái)自商業(yè)空間站的半導體產(chǎn)品

該研究團隊的學(xué)術(shù)成員包括愛(ài)荷華州立大學(xué)材料科學(xué)與工程系副教授 Shan Jiang 和威斯康星大學(xué)麥迪遜分校工業(yè)與系統工程系助理教授 Hantangqin，他們將首次測試他們的半導體制造理論。由零重力航空公司進(jìn)行的拋物線(xiàn)飛行將提供 20 秒的零重力條件。

下圖所示為陳和她的合作者打算試驗太空建筑的設備類(lèi)型。已經(jīng)經(jīng)過(guò)蝕刻工藝的測試設備將在其蝕刻溝槽中注入特殊墨水，以確定墨水在制造過(guò)程中的有效性。

飛機起飛前將安裝一臺微電子制造打印機，并在達到零重力條件后啟動(dòng)，然后它將在這 20 秒內打印出半導體器件。這些航班計劃于今年 10 月起飛。

如果這項研究成功，它將為在國際空間站以及未來(lái)的商業(yè)空間站（例如 Axiom Space 計劃的空間站）上安裝半導體印刷設備打開(kāi)一扇大門(mén)。連接到軌道上較大空間站的浮動(dòng)工廠(chǎng)也是一種可能性。

希爾表示，該研究旨在開(kāi)發(fā)制造方法，使美國電子工業(yè)重新獲得全球工業(yè)的主導地位。

「我們堅信，低地球軌道和微重力環(huán)境的利用是一項改變游戲規則的技術(shù)，將使美國在半導體制造領(lǐng)域占據領(lǐng)先地位，」他說(shuō)?！肝覀兿Ｍ罱K推動(dòng)美國半導體制造能力的進(jìn)步，并為其發(fā)展太空經(jīng)濟?！?/span>

希爾選擇陳參與該項目是因為她在下一代存儲器件方面的專(zhuān)業(yè)知識，她正在領(lǐng)導該項目的制造方法。作為首次與亞利桑那州立大學(xué)合作，希爾表示迄今為止的經(jīng)歷給他留下了深刻的印象，并希望在未來(lái)的項目上繼續與該大學(xué)合作。

「我真的很喜歡和陳博士一起工作，」他說(shuō)：「她充滿(mǎn)熱情并帶來(lái)積極的態(tài)度，像她這樣樂(lè )觀(guān)、總是尋找優(yōu)勢和能夠幫助團隊的事情的研究人員是一筆巨大的財富?！?/span>