上海IC產(chǎn)業(yè)十年規模擴大10倍

　　2001年～2010年的10年是上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的黃金10年。在這10年中，上海集成電路產(chǎn)業(yè)由小變大，銷(xiāo)售規模擴大了10.3倍(2010年上海集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現銷(xiāo)售收入537.9億元)，產(chǎn)量增加了8.2倍，出口額增長(cháng)了3.2倍，集成電路企業(yè)數量增加了4倍，集成電路行業(yè)就業(yè)人數增加了4倍，主流技術(shù)提升了4代，集成電路產(chǎn)業(yè)累計總投資額達到了223.04億美元，逐步形成了涵蓋設計、制造、封裝測試、裝備材料及配套服務(wù)等環(huán)節較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈體系;形成了有利于集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策環(huán)境和投資環(huán)境;建立了多個(gè)規模大、功能全的微電子產(chǎn)業(yè)園區和公共服務(wù)平臺;培養和造就了數以萬(wàn)計的中高端技術(shù)、管理人才，產(chǎn)業(yè)的集聚效應日趨顯現。

　　自主創(chuàng )新率先突破

　　在這10年中，上海集成電路產(chǎn)業(yè)始終堅持自主創(chuàng )新發(fā)展，不斷推進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節在國內率先實(shí)現突破：

　　集成電路設計業(yè)突破40nm大關(guān)。2011年1月19日，展訊通信在人民大會(huì )堂召開(kāi)40納米芯片發(fā)布會(huì )，此芯片是全球首款40nm技術(shù)TD-SCDMA多模通信芯片，同時(shí)也是全球3G領(lǐng)域首款商用40nm芯片，這標志著(zhù)上海集成電路設計業(yè)技術(shù)水平正逐步跨入世界領(lǐng)先行列，由跟隨者轉變?yōu)椴糠忠I(lǐng)。

　　集成電路設計業(yè)銷(xiāo)售收入首次突破百億大關(guān)。2010年，上海集成電路設計業(yè)銷(xiāo)售收入達到113.2億元，同比增長(cháng)68.9%，占全國集成電路設計業(yè)銷(xiāo)售收入的近30.6%。

　　集成電路制造業(yè)突破45nm。在國家科技重大專(zhuān)項及上海市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點(diǎn)支持的基礎上，中芯國際已經(jīng)完成45nm技術(shù)研發(fā)，并具備了產(chǎn)業(yè)化的能力。同時(shí)，中芯國際已經(jīng)開(kāi)始將45nm技術(shù)向其縮版40nm技術(shù)推移，并計劃于2011年下半年通過(guò)客戶(hù)認證。

　　集成電路制造業(yè)產(chǎn)能規模始終位居國內前列。2010年上海集成電路芯片制造的總產(chǎn)能約為50萬(wàn)片/月(8英寸晶圓等量)。隨著(zhù)“909工程升級改造-12英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)項目”啟動(dòng)，臺積電松江公司實(shí)施生產(chǎn)線(xiàn)擴產(chǎn)，上海集成電路產(chǎn)業(yè)的總產(chǎn)能將提升至約64萬(wàn)片/月(8英寸晶圓等量)。上海無(wú)疑將繼續成為國內最大的芯片制造基地。

　　集成電路設備材料業(yè)關(guān)鍵產(chǎn)品突破產(chǎn)業(yè)化及商業(yè)化瓶頸。中微半導體成功研發(fā)國內首臺12英寸“90nm～65nm等離子體介質(zhì)刻蝕機”。2010年創(chuàng )造了訂單19臺、出貨17臺的佳績(jì)，在此基礎上，繼續成功研發(fā)了“45nm～32nm等離子體介質(zhì)刻蝕機”，將我國極大規模集成電路等離子體介質(zhì)刻蝕設備提升到國際領(lǐng)先水平。盛美半導體自主開(kāi)發(fā)的“12英寸單晶圓片清洗設備”，不但進(jìn)入無(wú)錫海力士12英寸生產(chǎn)線(xiàn)試用，而且還取得了韓國海力士公司的書(shū)面認定，為大規模進(jìn)入國際市場(chǎng)鋪平道路。上海微電子裝備自主開(kāi)發(fā)的“先進(jìn)封裝投影光刻機”已提供給江陰長(cháng)電試用，并獲得第二臺訂單。

　　在半導體關(guān)鍵材料方面，上海新傲自主研發(fā)成功的8英寸SOI晶片已實(shí)現產(chǎn)業(yè)化。上海晶盟硅材料有限公司和新傲的8英寸硅外延片不僅質(zhì)量出眾，而且產(chǎn)量也占國內領(lǐng)先地位。上海新陽(yáng)半導體自主開(kāi)發(fā)成功“65nm～45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑”。

　　安集微電子自主開(kāi)發(fā)成功銅阻擋層拋光液、90nm～65nm集成電路關(guān)鍵拋光材料。上海華誼微電子材料有限公司和上?；瘜W(xué)試劑研究所，開(kāi)發(fā)成功超凈高純硫酸、硝酸、鹽酸、氨水、氟化銨、醋酸、異丙醇和甲基吡咯烷酮(NMP)等無(wú)機/有機化學(xué)試劑，并在國內率先建立了年產(chǎn)千噸級以上的超凈高純化學(xué)試劑生產(chǎn)體系和專(zhuān)用化學(xué)試劑實(shí)驗室。

　　2010年1月19日，“909工程升級改造-12英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)項目”舉行了啟動(dòng)儀式。本項目將建成第一條國資控股、主要面向國內市場(chǎng)、月產(chǎn)3.5萬(wàn)片的12英寸(90nm～65nm～45nm)集成電路生產(chǎn)線(xiàn)，這是我國目前規模最大、技術(shù)最新的12英寸標準工藝芯片制造生產(chǎn)線(xiàn)。這條生產(chǎn)線(xiàn)的成功建設，可以制造大量國內急需的高端集成電路重要產(chǎn)品，具備承擔和支持國家科技重大專(zhuān)項的相應能力，對做大做強上海集成電路產(chǎn)業(yè)具有極其重要的意義。