北方微電子等離子刻蝕系統中標兩項目

　　近日，北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司佳音頻傳，繼高密度等離子刻蝕機中標國家集成電路先導工藝研發(fā)項目后，ELEDE 330高密度等離子ICP刻蝕機中標上海藍光LED項目。ELEDE 330由北方微電子自主研制生產(chǎn)，是我國首臺直接面向LED大生產(chǎn)線(xiàn)的ICP刻蝕系統，實(shí)現了北方微電子半導體刻蝕技術(shù)在LED領(lǐng)域的成功擴展。此次中標，標志著(zhù)北方微電子LED刻蝕設備獲得市場(chǎng)主流生產(chǎn)線(xiàn)的充分肯定，使我國高端LED設備的國產(chǎn)化水平得到了新的提升。

　　上海藍光科技有限公司是中央企業(yè)彩虹集團控股的全國首家從事氮化鎵基LED外延片及芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，是國家“863”計劃光電子領(lǐng)域成果轉化基地，是國家發(fā)展與改革委員會(huì )確定的新材料專(zhuān)項產(chǎn)業(yè)化示范工程項目。