國產(chǎn)65nm大角度離子注入機進(jìn)入晶圓生產(chǎn)線(xiàn)

　　由北京中科信電子裝備有限公司自主研發(fā)的300mm/65nm大角度離子注入機進(jìn)入中芯國際(北京)集成電路制造有限公司，開(kāi)始接受?chē)H主流生產(chǎn)線(xiàn)的技術(shù)測試與器件工藝檢驗，為這一國產(chǎn)集成電路制造裝備實(shí)現重大技術(shù)跨越作最后的沖刺。

　　據了解，這是國產(chǎn)高端離子注入機首次進(jìn)入300mm主流生產(chǎn)線(xiàn)，表明國內的離子注入機研制已經(jīng)逐步達到世界主流技術(shù)水平。

　　北京中科信公司研制的65nm大角度離子注入機以滿(mǎn)足大規模生產(chǎn)線(xiàn)65nm制程工藝需求為目標，以提升產(chǎn)品工藝性能、整機可靠性及降低成本消耗為設計理念。在不到兩年的時(shí)間里，北京中科信電子裝備有限公司研發(fā)團隊成功突破了多項關(guān)鍵工藝，完成多項核心研究，實(shí)現了設備的工程化制造、關(guān)鍵零部件國產(chǎn)化，完善了系統設計、系統加工、系統集成流程，保證了設備的高可靠性及工藝水平。

　　長(cháng)時(shí)間的系統的性能測試結果表明，整機生產(chǎn)率、控制精度、軟件可靠性、整機自動(dòng)性能、工藝一致性等指標都有了顯著(zhù)提高，整機性能完全達到甚至部分已經(jīng)超過(guò)了項目合同要求，同時(shí)適應國際300mm工藝生產(chǎn)線(xiàn)標準要求。

　　記者了解到，該設備具備先進(jìn)工藝控制及故障診斷功能，出廠(chǎng)前已通過(guò)用戶(hù)基本技術(shù)指標評估與硬件改進(jìn)，其主要工藝性能及可靠性、穩定性已取得令人滿(mǎn)意的效果。