離子注入機文章進(jìn)入離子注入機技術(shù)社區

國產(chǎn)65nm大角度離子注入機進(jìn)入晶圓生產(chǎn)線(xiàn)

　　由北京中科信電子裝備有限公司自主研發(fā)的300mm/65nm大角度離子注入機進(jìn)入中芯國際(北京)集成電路制造有限公司，開(kāi)始接受?chē)H主流生產(chǎn)線(xiàn)的技術(shù)測試與器件工藝檢驗，為這一國產(chǎn)集成電路制造裝備實(shí)現重大技術(shù)跨越作最后的沖刺。　　
關(guān)鍵字：中科信離子注入機

　　由北京中科信電子裝備有限公司自主研發(fā)的300mm/65nm大角度離子注入機進(jìn)入中芯國際(北京)集成電路制造有限公司，開(kāi)始接受?chē)H主流生產(chǎn)線(xiàn)的技術(shù)測試與器件工藝檢驗，為這一國產(chǎn)集成電路制造裝備實(shí)現重大技術(shù)跨越作最后的沖刺。這是國產(chǎn)高端離子注入機首次進(jìn)入300mm主流生產(chǎn)線(xiàn)，表明國內的離子注入機研制已經(jīng)逐步達到世界主流技術(shù)水平。　　
關(guān)鍵字：離子注入機 300mm晶圓

　　9月底，日本日新離子機株式會(huì )社與揚州經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區簽訂了合作協(xié)議。日新株式會(huì )社將在揚州經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區投資興建離子注入機設備生產(chǎn)廠(chǎng)。這是日新首個(gè)在日本國土外設立的生產(chǎn)基地。市委書(shū)記王燕文會(huì )見(jiàn)了前來(lái)簽約的日新株式會(huì )社社長(cháng)長(cháng)井宣夫并見(jiàn)證了簽約儀式。市委常委、秘書(shū)長(cháng)盧桂平參加相關(guān)活動(dòng)。　　據了解，日新離子機株式會(huì )社是世界三大離子注入機供應商之一。截至2009年，公司產(chǎn)品占日本市場(chǎng)的90%左右，約占亞太市場(chǎng)的53%。日本東芝、NEC，韓國三星，以及臺灣臺積電、聯(lián)電、茂德和力晶，大陸海力士、中芯國際、華虹NE
關(guān)鍵字：日新離子注入機

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