沈陽(yáng)加工IC通過(guò)所有技術(shù)檢測

    由中國科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司和沈陽(yáng)先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司聯(lián)合承接的大型平板顯示器高精密零部件的試加工件一次性通過(guò)美國應用材料公司的各項檢測，所有技術(shù)指標全部檢驗合格。近日，4塊大型平板顯示器高精密零部件已運抵大連，從大連出口。這是我國第一次成功承接國外知名IC（集成電路）裝備制造企業(yè)的零部件轉包業(yè)務(wù)。

　　IC裝備制造業(yè)是裝備制造行業(yè)中科技含量最高的產(chǎn)業(yè)，被業(yè)內人士稱(chēng)為裝備制造業(yè)的珠穆朗瑪峰。2002年，為實(shí)現用高新技術(shù)改造傳統產(chǎn)業(yè)的戰略目標，沈陽(yáng)市在全國率先提出了發(fā)展IC裝備制造產(chǎn)業(yè)的構想。經(jīng)過(guò)3年的發(fā)展，沈陽(yáng)在國家級高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區———渾南新區，以零部件加工和子系統產(chǎn)品加工為突破口，并加強同海外華人的經(jīng)濟技術(shù)交流，不斷吸收、消化國際先進(jìn)技術(shù)，使渾南的IC裝備制造業(yè)迅速起步，目前正在形成兩大IC裝備制造業(yè)集團，一個(gè)是以沈陽(yáng)新松機器人有限公司、沈陽(yáng)芯源先進(jìn)半導體技術(shù)有限公司、中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化所為核心的IC生產(chǎn)廠(chǎng)晶片處理、傳送自動(dòng)化裝備企業(yè)集團；一個(gè)是以中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司為核心的真空、成膜設備企業(yè)集團。沈陽(yáng)的IC裝備制造產(chǎn)業(yè)已經(jīng)形成了從零部件和子系統加工，到單元和整機制造的全面發(fā)展格局，產(chǎn)業(yè)集群已初見(jiàn)雛形。

　　今年初，沈陽(yáng)市同美國應用材料公司簽訂了試加工4塊大型平板顯示器高精密零部件的合同，美國是國際IC裝備制造業(yè)的龍頭，其產(chǎn)品涵蓋了IC生產(chǎn)線(xiàn)所需60%以上的設備品種，對零配件的加工技術(shù)要求近乎苛刻，此前我國其他一些地區的企業(yè)也曾嘗試承接該項目，但加工出來(lái)的產(chǎn)品均未合格。為拿下這個(gè)項目，渾南新區投資80萬(wàn)元作為科技創(chuàng )新基金，中國科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司和沈陽(yáng)先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司共同組織科研人員進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，終于攻克了環(huán)形燕尾槽和細長(cháng)空兩項技術(shù)難關(guān)，在兩個(gè)月的時(shí)間里，技術(shù)攻關(guān)組成員與沈陽(yáng)飛機制造有限公司、沈陽(yáng)黎明航天發(fā)動(dòng)機有限公司的科研人員一起分析、解決具體技術(shù)問(wèn)題，并在沈陽(yáng)鼓風(fēng)機集團、沈陽(yáng)機床集團有限公司等大企業(yè)的支持下，由沈陽(yáng)的技術(shù)工人進(jìn)行實(shí)際操作，按時(shí)完成了4塊大型平板顯示器高精密零部件的加工。該部件經(jīng)88項人工檢測和116項設備檢測，各項指標全部檢驗合格，定期交貨。

　　此次加工項目的高質(zhì)量完成，是沈陽(yáng)老工業(yè)基地的人才優(yōu)勢、技術(shù)優(yōu)勢、裝備優(yōu)勢的展現，并為吸引國外知名IC裝備制造大公司進(jìn)駐沈陽(yáng)提供了配套優(yōu)勢。目前，美國應用材料公司正在同沈陽(yáng)洽談新的合作項目。