國產(chǎn)化需求正在拉動(dòng)國內半導體設備行業(yè)

來(lái)源：本文由半導體產(chǎn)業(yè)縱橫（ID:ICVIEWS）綜合

日本的出口限制，是國產(chǎn)半導體設備的機遇。

盡管半導體景氣度從2022年下半年顯著(zhù)回落，半導體設備是少數逆勢高速增長(cháng)的細分行業(yè)。作為A股半導體設備龍頭，北方華創(chuàng )高管在5月31日舉辦的2022年度業(yè)績(jì)說(shuō)明會(huì )上表示公司目前在手訂單充足，并預測受?chē)a(chǎn)替代需求拉動(dòng)，今年國內半導體設備行業(yè)仍有望持續增長(cháng)。

2022年，北方華創(chuàng )實(shí)現營(yíng)業(yè)收入147億元，同比增長(cháng)約五成，凈利潤約24億元，同比增長(cháng)1.18倍；今年一季度公司實(shí)現凈利潤近6億元，同比增長(cháng)1.86倍。

“目前公司在手訂單充足，2023年1-5月新增訂單相較去年同期增長(cháng)超過(guò)30%，其中以集成電路設備訂單為主?！北狈饺A創(chuàng )高管表示。

北方華創(chuàng )在半導體設備領(lǐng)域業(yè)務(wù)覆蓋刻蝕裝備、薄膜裝備、立式爐裝備、外延裝備、清洗裝備、臥式爐管設備等，去年電子工藝裝備部分業(yè)務(wù)實(shí)現營(yíng)業(yè)收入同比增長(cháng)約五成。

在刻蝕設備領(lǐng)域，北方華創(chuàng )高管介紹，面向12英寸邏輯、存儲、功率、先進(jìn)封裝等客戶(hù)，已完成數百道工藝的量產(chǎn)驗證，其中，ICP刻蝕產(chǎn)品出貨累計超過(guò)2000腔，8英寸CCP刻蝕設備已批量供應市場(chǎng)，12英寸CCP刻蝕設備已進(jìn)入客戶(hù)端驗證。另外，公司用于存儲器件的高深寬比刻蝕機已完成研發(fā)，進(jìn)入工藝測試階段，各項技術(shù)指標已基本滿(mǎn)足客戶(hù)要求。

對于刻蝕設備優(yōu)勢，北方華創(chuàng )介紹，公司自2001年開(kāi)始研發(fā)ICP刻蝕設備，2005年第一臺設備進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)量產(chǎn)，目前已有超過(guò)2000腔產(chǎn)品在數十家客戶(hù)端實(shí)現量產(chǎn)應用，在數百道制程上成為客戶(hù)的基線(xiàn)設備。

北方華創(chuàng )不是唯一一家在一季度實(shí)現增長(cháng)的半導體設備公司，受益于國內半導體下游行業(yè)設備需求的不斷增加。

盛美上海2023年一季度營(yíng)業(yè)收入6.16億元，同比增長(cháng)74.09％；歸屬于上市公司股東的凈利潤1.31億元，上年同期盈利431.12萬(wàn)元，同比增長(cháng)2937.19％。

拓荊科技一季度實(shí)現營(yíng)收4.02億元，同比增長(cháng)274.24％；歸屬于上市公司股東的凈利潤5371.8萬(wàn)元，扭虧為盈。

華海清科今年一季度營(yíng)業(yè)收入6.16億元，同比增長(cháng)76.87％，扣非歸母凈利潤1.67億元，同比增長(cháng)114.46％。

芯源微同樣披露了良好的一季報，期內營(yíng)收2.88億元，同比增長(cháng)56.89％，歸母凈利6597.74萬(wàn)元，同比增長(cháng)103.55％。

5月23日，日本宣布把尖端半導體制造設備等23個(gè)品類(lèi)列入出口管理限制對象名單，本次措施主要是增加了6大類(lèi)23種管制物項，對華出口需申請許可。

在清單內的受管制物品在向中國大陸、俄羅斯等地區出口時(shí)，需要獲得日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的許可證。清單主要針對高端半導體制造設備，尤其是特別聚焦了ArF浸沒(méi)式光刻、EUV配套設備及部件、鈷/鎢等金屬沉積、高深寬比刻蝕和硅鍺刻蝕等技術(shù)指標較高、材料特殊、在先進(jìn)制程有針對性應用的半導體設備品種，而光刻膠等日本優(yōu)勢的半導體材料則未在限制行列之中。

中信證券研報認為，中國大陸為日本主要半導體設備廠(chǎng)商的重要收入來(lái)源地區之一，出口限制主要針對先進(jìn)芯片制造，符合預期，否則若全面限制、日本半導體相關(guān)產(chǎn)業(yè)也會(huì )有較大沖擊。在這樣的背景下，半導體設備以及零部件領(lǐng)域國產(chǎn)化進(jìn)展備受關(guān)注。

廣發(fā)證券整理了2022年國內晶圓廠(chǎng)的公開(kāi)招標項目，以及相關(guān)半導體設備廠(chǎng)商的中標情況。2022 年，國內半導體設備廠(chǎng)商合計中標量在對應工藝環(huán)節的中標比例為 26%。中標方面，2022 年，統計樣本中的晶圓產(chǎn)線(xiàn)合計中標 1040 臺設備，以量測、沉積類(lèi)、熱處理設備居多；國產(chǎn)設備整體中標比例約30%，其中，硅片再生、氣液系統、去膠、濕法腐蝕、PVD 設備的國產(chǎn)中標比例較高。

2022 年，國內半導體設備廠(chǎng)商合計中標 231 臺設備，北方華創(chuàng )、創(chuàng )微微電子、中微公司、萬(wàn)業(yè)企業(yè)中標量領(lǐng)先，分別中標 64 臺、28 臺、22 臺、21 臺設備。

從這樣的數據來(lái)看，國內半導體設備廠(chǎng)商已經(jīng)有所成果，但仍有增長(cháng)空間。根據SEMI（國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì )）數據，2022年中國晶圓廠(chǎng)商半導體設備國產(chǎn)化率較2021年明顯提升，從21%提升至35%；國內半導體設備公在去膠、清洗、熱處理、刻蝕及CMP領(lǐng)域內國產(chǎn)替代率較高，均高于30%，但在光刻機、離子注入機等領(lǐng)域國產(chǎn)化率合計不足5%。

半導體行業(yè)自2022年下半年進(jìn)入下行周期，半導體制造商紛紛宣布削減2023年資本開(kāi)支；對于國產(chǎn)半導體設備增長(cháng)趨勢，北方華創(chuàng )高管表示看好，預計受?chē)a(chǎn)替代需求拉動(dòng)，今年國內半導體設備行業(yè)仍有望持續增長(cháng)。