新國標推動(dòng)潔凈技術(shù)邁上新臺階

　　電子產(chǎn)品不僅對生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈程度有嚴格要求，而且還對與生產(chǎn)過(guò)程直接接觸的各種高純介質(zhì)——— 高純水、高純氣體、高純化學(xué)品等的雜質(zhì)含量等有十分嚴格的要求。某些電子產(chǎn)品對振動(dòng)、靜電、電磁干擾、電力供應等也有較為嚴格的要求。為此，電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房一般配備下列設施，如凈化空調系統、專(zhuān)用凈化設備、噪聲控制設備、防微振設備、防靜電設備、防電磁干擾設備、電氣、照明、高純物質(zhì)(高純水、高純氣、高純化學(xué)品)供應設備、報警系統、節能設施以及通信設施等。微電子產(chǎn)品的微細化，要求供應純度極高的氣體、化學(xué)品和純水。目前納米級集成電路芯片生產(chǎn)要求氣體中雜質(zhì)的濃度要控制到19-9級或10-12級，要求超純水的電阻率為18MΩ·cm，雜質(zhì)濃度為19-9級或10-12級。

　　新國標推動(dòng)潔凈技術(shù)上臺階

　　基于上述電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的特點(diǎn)，現有國家標準《潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GB50073)中的有關(guān)規定已不能滿(mǎn)足需要，尤其是涉及化學(xué)分子污染物的控制以及安全、消防等方面的規定(如潔凈建筑防火與疏散、易燃易爆氣體和化學(xué)品的貯存輸送、安全消防報警設施等)。由國家住房和城鄉建設部和國家質(zhì)量監督檢驗檢疫總局聯(lián)合發(fā)布，并從2009年7月1日實(shí)施的國家標準《電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GB50472)，正是以現代電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的特點(diǎn)和工程實(shí)踐為依據，結合我國電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計建造和運行的實(shí)際情況，廣泛調研、整理相關(guān)的專(zhuān)題報告和測試資料，認真總結多年來(lái)電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計建造和運行方面的經(jīng)驗，廣泛征求了國內有關(guān)單位的意見(jiàn)制定而成的。國家標準《電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GB50472)共分15章和4個(gè)附錄。主要內容有：總則、術(shù)語(yǔ)、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求、總體設計、工藝設計、潔凈室建筑設計、空氣凈化和空調通風(fēng)設計、給水排水設計、純水供應、氣體供應、化學(xué)品供應、電氣設計、防靜電與接地設計、噪聲控制以及微振控制等。該規范是強制性標準，其中設有強制性條文近50條，在規范中黑體字的條文為強制性條文，必須嚴格執行。

　　所有進(jìn)行電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計建造的單位和相關(guān)科技人員都應認真執行、實(shí)施規范中的強制條文。與此同時(shí)，推薦性條文的各項規定使電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設計、建造有法可依，有章可循。我們希望通過(guò)認真執行、實(shí)施國家標準《電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GB50472)，使我國電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設計建造達到更高的水平。同時(shí)，我們也希望在新國標實(shí)施中得到各有關(guān)單位、科技人員的修改和補充意見(jiàn)，使之不斷完善。