中國首個(gè)256位分子存儲器電路研制成功

近日，中科院微電子所納米加工與新器件集成技術(shù)實(shí)驗室成功研制出國內首個(gè)256位分子存儲器電路。

分子電路是指在分子層次上構筑的電子器件及其集成電路，是后摩爾時(shí)代接替硅基電路最受關(guān)注的方向之一，它能夠使電子器件的關(guān)鍵尺寸縮小到分子尺度，突破摩爾定律極限，推動(dòng)集成電路向更小尺寸，更高集成度方向發(fā)展。

電阻轉變型雙穩態(tài)材料的存儲特性在信息存儲以及存儲器方面有著(zhù)非常廣闊的應用前景，是一種天生的存儲材料。

具有此類(lèi)雙穩態(tài)特性的分子功能材料由于其低成本、低功耗，并且有潛力將特征尺寸縮小到分子尺度等優(yōu)點(diǎn)，而受到廣泛的關(guān)注。分子存儲器是利用有機分子的電學(xué)雙穩態(tài)特性實(shí)現存儲功能的，分子存儲器要實(shí)現高密度存儲，就需要有效的降低特征尺寸，即存儲點(diǎn)的周期。

研究人員在深入研究不同轉變機理的各種電阻轉變型雙穩態(tài)材料的基礎上，基于一次電子束光刻和二次X射線(xiàn)曝光的具有完全知識產(chǎn)權的混合光刻技術(shù)，成功研制了國內首個(gè)256位分子存儲器電路，該存儲器電路的特征尺寸達到250nm，電學(xué)性能優(yōu)異，實(shí)驗結果表明分子存儲器的分子層沒(méi)有受到損傷。

國內首個(gè)256位分子存儲器電路的研制成功，為我國分子電路的高集成度、高速度和低功耗的實(shí)現奠定了重要基礎, 有力推動(dòng)了我國分子電子學(xué)的發(fā)展。

本工作得到了國家973項目的支持，中國科學(xué)院化學(xué)所提供了分子材料的制備生長(cháng)，二次X射線(xiàn)光刻工藝在國家同步輻射實(shí)驗室完成。

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