吉時(shí)利發(fā)布用于器件級、圓片級自動(dòng)特征分析套件ACS V3.2版

　　吉時(shí)利(Keithley)儀器公司日前發(fā)布用于器件級、圓片級和晶匣級半導體測試與特征分析的自動(dòng)特征分析套件ACS V3.2版。V3.2版新增更加強大的多點(diǎn)并行測試功能、面向管芯分揀應用成品分裝功能、新圓片級打點(diǎn)功能，并以1fA電流測量分辨率支持吉時(shí)利最新2635和2636型系統數字源表，進(jìn)一步增強ACS集成測試系統強大自動(dòng)測試功能。這些新功能為用戶(hù)提供最具性?xún)r(jià)比功能組合，實(shí)現極高測試靈活性和產(chǎn)能——其中包括面向實(shí)驗室和生產(chǎn)配置的無(wú)人值守操作。

　　更大靈活性和產(chǎn)能

　　新一代半導體技術(shù)要求以更短時(shí)間和更少資源實(shí)現更強大測試與數據采集功能。滿(mǎn)足這些需求最具性?xún)r(jià)比、最靈活性的測試平臺仍將基于SMU(源測量單元)技術(shù)，無(wú)需針對廠(chǎng)家特殊測量需求而進(jìn)行內部或第三方研發(fā)軟件工具包將受到青睞。吉時(shí)利自動(dòng)特征分析套件ACS V3.2版作為一個(gè)統一軟件工具包，能夠直接運行面向4200-SCS、2600系列數字源表和其他基于SMU系統應用，從而很好地滿(mǎn)足用戶(hù)需求，縮短產(chǎn)品上市時(shí)間，降低總測試成本。

　　多點(diǎn)測試

　　基于多點(diǎn)測試的集成式成品分裝需要從圓片全路徑映射到輸出分裝文件都采用特殊測試流程管理功能。ACS V3.2支持圓片級和晶匣級自動(dòng)化測試，從而能夠實(shí)現更多無(wú)人值守測試功能，能夠為建模和工藝認證采集大規模統計數據樣本，最大限度發(fā)掘工具利用率。ACS以一種支持結構與器件并行測試的方式定義邏輯與物理測試點(diǎn)。測試成品在整個(gè)測試執行流程中都與邏輯測試點(diǎn)相互關(guān)聯(lián)。用戶(hù)只需要通過(guò)簡(jiǎn)單點(diǎn)擊控制，從順序測試轉換為真正并行測試操作，即可選擇并行測試功能。

　　該工具以?xún)惹对?600系列數字源表中的吉時(shí)利TSP-LinkTM為支撐技術(shù)。用戶(hù)通過(guò)圓片級打點(diǎn)功能能夠快捷地遍歷整匣圓片，觀(guān)看每張圓片上具有多種色彩分裝打點(diǎn)結果。用戶(hù)只需要點(diǎn)擊所觀(guān)察邏輯點(diǎn)，測試結果就會(huì )立刻繪制出來(lái)，同時(shí)顯示在測試開(kāi)發(fā)過(guò)程中加載一些分析參數。

　　管芯分揀應用

　　ACS對于單張圓片最高能夠處理100,000個(gè)管芯——這是實(shí)現管芯分揀的一種重要功能。它的圓片描述工具具有圖形縮放功能，十分便于設置高管芯數量圓片。為了進(jìn)一步提高管芯分揀速度，ACS支持可編程執行條件，從而當某一步測試表明器件不合格時(shí)，能夠跳過(guò)后續測試步驟。用戶(hù)可以根據測試圖案或物理測試點(diǎn)對探測序列進(jìn)行優(yōu)化，以最大限度地發(fā)掘探針和測試硬件利用率。經(jīng)過(guò)擴充用于2600系列和4200-SCS新參數測試庫縮短了測試配置時(shí)間，用戶(hù)通過(guò)UAP(User Access Points，用戶(hù)接入點(diǎn))能夠進(jìn)一步擴展吉時(shí)利提供的測試執行引擎的特性和功能，包括生成分裝文件。

　　擴展支持

　　ACS目前還支持具有增強型電流靈敏度的最新2600系列數字源表。這包括單通道2635和雙通道2636，它們的電流測量分辨率可達1fA，源電壓可達200V。2600系列數字源表非常適合于各種半導體可靠性測試，包括極具挑戰性縮放硅可靠性測試，如NBTI(negative bias temperature instability，負偏溫度不穩定性)。ACS還支持測試結果實(shí)施繪圖，實(shí)現了TDDB、NBTI、HCI等可靠性測試的可視化功能。

　　新功能總結：