集成電路裝備制造業(yè)現狀及問(wèn)題解讀

　　為推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加快發(fā)展，工業(yè)和信息化部、國家發(fā)改委、科技部、財政部等部門(mén)編制了《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，并由國務(wù)院正式批準公布實(shí)施。中國電子報作為工信部主管的具有機關(guān)報性質(zhì)的行業(yè)報，作為集成電路領(lǐng)域最權威的媒體，特邀請行業(yè)專(zhuān)家和從業(yè)人員解讀《綱要》，暢談中國集成電路發(fā)展大計。以下是中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )秘書(shū)長(cháng)金存忠為本報寫(xiě)來(lái)的專(zhuān)稿。

　　6月24日國務(wù)院正式批準的《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》中指出了要突出“芯片設計-制造-封測-裝備材料”全產(chǎn)業(yè)鏈的布局。中國已經(jīng)是全球集成電路市場(chǎng)的大國，但集成電路大量依賴(lài)進(jìn)口。要將我國集成電路產(chǎn)業(yè)做大做強，就一定要把我國集成電路裝備制造業(yè)搞上去。

　　(一)我國集成電路裝備制造業(yè)現狀

　　1、在國家科技重大專(zhuān)項的支持下，一些大規模集成電路關(guān)鍵裝備通過(guò)驗收并走進(jìn)了大生產(chǎn)線(xiàn)

　　極大規模集成電路制造裝備及成套工藝科技項目(簡(jiǎn)稱(chēng)02專(zhuān)項)，2008年-2013年共安排集成電路裝備研制項目29項，到2013年底已驗收12項，這些裝備也走進(jìn)了12英寸極大規模集成電路的生產(chǎn)線(xiàn)。

　　2、國產(chǎn)集成電路先進(jìn)封裝生產(chǎn)線(xiàn)關(guān)鍵設備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展迅速

　　國產(chǎn)集成電路先進(jìn)封裝生產(chǎn)線(xiàn)關(guān)鍵設備得到了集成電路生產(chǎn)廠(chǎng)商的信任和認可，實(shí)現了產(chǎn)業(yè)化。其中有集成電路先進(jìn)封裝用勻膠機、3微米步進(jìn)式投影光刻機、用于三維芯片封裝的硅通孔刻蝕機、高密度深硅等離子刻蝕機、TSV硅通孔物理氣相沉積設備(PVD)等，這些關(guān)鍵裝備的國產(chǎn)化有力地推進(jìn)了我國集成電路先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

　　3、國產(chǎn)集成電路硅片生產(chǎn)設備尚未進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化

　　在02專(zhuān)項的支持下，12英寸集成電路硅片生產(chǎn)設備(硅單晶生長(cháng)爐、多線(xiàn)切割機、磨片機、拋光機)目前的γ機已通過(guò)工藝認證，但尚未進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)。

　　(二)我國集成電路裝備制造業(yè)存在的主要問(wèn)題

　　1、市場(chǎng)占有率低

　　目前，我國大規模集成電路生產(chǎn)線(xiàn)裝備大都依賴(lài)進(jìn)口，我國大規模集成電路生產(chǎn)線(xiàn)(8-12英寸)中的硅片和晶圓(芯片)制造裝備大都是依賴(lài)進(jìn)口的(8英寸以下的生產(chǎn)線(xiàn)是引進(jìn)翻新的二手設備)，這不僅嚴重影響了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，也對我國電子信息的安全造成重大的隱患。根據中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )對我國13家主要集成電路生產(chǎn)單位的統計，2013年共銷(xiāo)售集成電路設備1093臺，銷(xiāo)售金額10.34億元(其中芯片制造設備約7億元)，大約是當年我國半導體設備進(jìn)口額的5%左右。

　　2、產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程緩慢

　　“十二五”期間，盡管在國家重大專(zhuān)項的支持下，一些關(guān)鍵設備進(jìn)入了大生產(chǎn)線(xiàn)，并經(jīng)過(guò)了驗收，但在新建的生產(chǎn)線(xiàn)上，使用單位有較大的風(fēng)險，在與進(jìn)口設備的競爭中，國產(chǎn)設備很難擠得上去。特別是對大規模集成電路芯片制造設備國產(chǎn)化缺乏信心，使已經(jīng)在生產(chǎn)線(xiàn)上驗收的國產(chǎn)設備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程艱難。目前，一些設備制造單位，已經(jīng)將集成電路設備成果應用到風(fēng)險相對低的LED等其它半導體器件領(lǐng)域。

　　3、缺乏“領(lǐng)軍”的高技術(shù)人才

　　一些技術(shù)難度大的關(guān)鍵設備，由于缺乏“領(lǐng)軍”的高技術(shù)人才，久攻不下，同時(shí)也影響了集成電路生產(chǎn)線(xiàn)設備國產(chǎn)化的推廣。

　　(三)我國集成電路裝備制造業(yè)發(fā)展設想

　　1、對國家投資的集成電路建設工程項目，要提出集成電路生產(chǎn)線(xiàn)設備國產(chǎn)化的要求，推廣已經(jīng)在集成電路大生產(chǎn)線(xiàn)上驗收過(guò)的國產(chǎn)設備。

　　2、依托國家科技專(zhuān)項集成電路關(guān)鍵裝備科技項目，對承擔項目的單位設備產(chǎn)業(yè)化目標要提出更高的要求，進(jìn)一步推進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程。

　　3、鼓勵和支持積極使用國產(chǎn)集成電路設備的集成電路生產(chǎn)企業(yè)，對使用首臺(套)集成電路關(guān)鍵設備給予優(yōu)惠政策，以減少承擔的風(fēng)險。

　　4、建設國產(chǎn)化集成電路示范生產(chǎn)線(xiàn)，推進(jìn)我國產(chǎn)集成電路產(chǎn)業(yè)做強

　　沒(méi)有國產(chǎn)的集成電路生產(chǎn)線(xiàn)，僅依賴(lài)進(jìn)口集成電路設備的集成電路產(chǎn)業(yè)是不可能做強的，只能跟在人家后面跑，并且還要受制于人，所以建設國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線(xiàn)是當務(wù)之急。從目前的市場(chǎng)需要和我國集成電路設備發(fā)展情況來(lái)看，建議在二到三年內建設以下三條集成電路國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線(xiàn)：12英寸集成電路硅片生產(chǎn)線(xiàn);集成電路先進(jìn)封裝生產(chǎn)線(xiàn);8英寸90nm集成電路晶圓(芯片)生產(chǎn)線(xiàn)。