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藍寶石基LED外延片背減薄與拋光工藝研究

作者： 時(shí)間：2011-08-28 來(lái)源：網(wǎng)絡(luò ) 收藏
速和壓力只能使其在同一個(gè)數量級內變化。通過(guò)測量經(jīng)過(guò)不同拋光時(shí)間后表面粗糙度的值，發(fā)現拋光時(shí)表面粗糙度下降的速率逐漸變慢，最后達到一個(gè)穩定值，其大小取決于所選擇的工藝條件。上述結論為藍寶石基LED外延片背減薄與拋光工藝的進(jìn)一步優(yōu)化提供了依據。
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關(guān)鍵詞： 藍寶石 LED外延片 背減薄 拋光

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