激光直接成型實(shí)現低成本3D集成電路

激光直接成型(LDS)技術(shù)利用激光燒蝕和金屬化等步驟，在注模塑料部件上創(chuàng )建電子線(xiàn)路，同時(shí)為表面貼裝元件提供安裝面，最終實(shí)現三維模塑互聯(lián)元件(3D-mid)。

　　激光直接成型技術(shù)在一個(gè)注塑成型的塑料元件殼體上，沿著(zhù)殼體輪廓在其表面上燒蝕電路走線(xiàn)痕跡，從而創(chuàng )建出一個(gè)三維模塑互連器件(3D-mid)(見(jiàn)圖1)。在加工過(guò)程中，首先根據設計方案在塑料元件殼體上用激光燒蝕電路走線(xiàn)痕跡，然后再對經(jīng)過(guò)激光燒蝕的部分進(jìn)行金屬化鍍層，這樣在殼體上就形成了電子線(xiàn)路。元件殼體要使用耐高溫的熱塑性材料，這樣就能夠使用標準的回流焊工藝安裝表面貼裝元件。3D-mid帶來(lái)了非常明顯的設計和制造優(yōu)勢：零部件布局更加緊湊、產(chǎn)品更加小型化、質(zhì)量更輕、裝配時(shí)間大大縮短、產(chǎn)品可靠性更高，同時(shí)其還有望在醫療、汽車(chē)、工業(yè)和軍事/國防領(lǐng)域的一些新興應用中，降低總體系統成本。

　　圖1：三維模塑互連器件(3D-mid)將注塑成型的元件外殼和電子線(xiàn)路整合在一起

　　三維直接成型

　　LDS過(guò)程從一個(gè)已經(jīng)用熱塑性復合材料注塑成型的元件開(kāi)始。在這種熱塑性材料中，一種有機金屬添加物被混合到其聚合物陣列中。實(shí)際上，這種有機金屬添加物是一種用有機涂層包裹的金屬微粒，其并沒(méi)有顯著(zhù)改變熱塑性材料的固有屬性。常用的熱塑性材料有液晶聚合物(LCP)、耐高溫尼龍(PA6/6T)、聚鈦酸脂(PPA)、聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)、PBT/PET和聚碳酸酯/ ABS塑料等。

　　首先，注塑成型的熱塑性元件被固定在一個(gè)激光系統中準備進(jìn)行表面活化。在進(jìn)行表面活化之前，激光系統已經(jīng)通過(guò)設計人員的編程，輸入了相應的CAD數據。這一過(guò)程通常被稱(chēng)為“孵化”，這是制造最佳成型部件的關(guān)鍵一環(huán)，因為要根據電子線(xiàn)路的布局，選擇一種最佳的激光工作模式。

　　電路走線(xiàn)痕跡是采用功率為16W的二極管泵浦的摻釹釩酸釔(Nd：YVO4)激光器燒蝕出來(lái)的。該激光器的聲光Q開(kāi)關(guān)，確保其能夠提供高度穩定的脈沖(脈沖到脈沖之間的穩定性?xún)?yōu)于1.5%)，這對于實(shí)現部件的均勻活化至關(guān)重要。波長(cháng)為1064nm的Nd：YVO4激光源，提供20~100kHz的脈沖重復頻率，同時(shí)該系統還使用了一個(gè)高速掃描儀和光學(xué)Z-軸，用于實(shí)現三維光束傳輸。該激光系統的最大掃描速度為4.0m/s，燒蝕電路走線(xiàn)痕跡和焊盤(pán)的光束的直徑為65μm。

　　針對特定的刻蝕材料，第一遍鍍層會(huì )對是否需要調整或優(yōu)化激光參數給出一個(gè)很好的暗示。根據目前所能提供的LDS模塑等級的寬度，激光功率的設置范圍是2.0~7.0W，頻率的設置范圍是40~100kHz，刻蝕速度的設置范圍是2.0~4.0m/s。當然，對于上述三個(gè)參數，每種材料都有一個(gè)推薦設置值，但是如果用推薦參數不能獲得最佳的刻蝕表面，還可以對這些參數進(jìn)行適當的調整。

　　當激光接觸到注塑成型元件的表面時(shí)，形成的表面活化會(huì )達到兩種不同的效果。首先，激光能量打破有機金屬微粒的有機涂料，將金屬微粒暴露在元件的表面。其次，元件沿著(zhù)激光束的痕跡被刻蝕，進(jìn)而創(chuàng )造出易于實(shí)現金屬化的粗糙表面(見(jiàn)圖2)。根據元件所用材料的類(lèi)型和激光參數設置(主要是功率設置)的不同，激光刻蝕作用會(huì )在元件上形成一個(gè)非常小的通道(深度10μm)或是一個(gè)非常小的山脊。在沒(méi)有進(jìn)行激光刻蝕的區域，有機金屬的表面并沒(méi)有受到影響。接下來(lái)要對元件經(jīng)過(guò)激光活化的部分進(jìn)行金屬鍍層。