使用SmartFactory Knowledge Advisor內建OCAP解決方案，來(lái)擴展工廠(chǎng)的自動(dòng)化智能能力

您知道工廠(chǎng)里將近 50% 的報廢是人為錯誤造成的嗎（參見(jiàn)圖 1）？ 實(shí)現異常管制計劃（OCAPs）的自動(dòng)化是一個(gè)獲得投資回報的重要機會(huì )。

OCAP是供工程師為了解和糾正流程或生產(chǎn)設備上的缺陷而遵循的計劃。例如，如果統計過(guò)程發(fā)生異常，相關(guān)設備的處理就會(huì )停止，從而允許工程師執行一系列任務(wù)，使設備盡快恢復在線(xiàn)狀態(tài)。

圖1 雖然其他原因通常被認為是停機的最大原因，但人為錯誤是停機的最大因素

數據可用性、可訪(fǎng)問(wèn)性和完整性

但是，并非所有的任務(wù)都是現成的，或是平均地分配給工程師，并且沒(méi)有一個(gè)流程中的單一參數數據集能夠提供變異來(lái)源的完整圖景。用于控制計劃的數據通常駐留在不同的組件中，如SPC或FDC，它們各自具有的集成方法和數據結構模型。在某些情況下，數據不存在、不完整，或者是在某個(gè)人的筆記本電腦上手動(dòng)進(jìn)行維護。此外，正確執行恢復任務(wù)需要工程師制定適當的計劃，閱讀并理解步驟，然后正確地執行這些步驟。

內建方法的價(jià)值

如今的晶圓廠(chǎng)需要一種更具凝聚力的方法，一種管理信息集并擴展設施自動(dòng)化智能的方法。圖2概述了這種方法的需求，并重點(diǎn)介紹了實(shí)現具有適當功能的OCAP解決方案的價(jià)值。

圖2 使用適當的自動(dòng)化策略，OCAP解決方案可使解決SPC和FDC違規的速度提高40%

減少可變性的集成工作流

為成功實(shí)施OCAP的這些組成部分并在您的工廠(chǎng)中擴展自動(dòng)化智能，SmartFactory Knowledge Advisor提供集成的工作流引擎，該引擎可以：

●   在工作流中如上下文模式匹配（CPM）和數據模式中嵌入 AI 功能，幫助引導用戶(hù)

●   讓用戶(hù)能夠制定解決異常的行動(dòng)計劃

●   通過(guò)提供具有直觀(guān)用戶(hù)界面體驗的工作流詳細信息來(lái)指導用戶(hù)解決錯誤（參見(jiàn)圖 3 示例）

●   減少與錯誤解釋因果關(guān)系相關(guān)的人為可變性

●   管理行動(dòng)跟蹤，識別以前的故障排除活動(dòng)

圖3 此示例計劃說(shuō)明了瀏覽器上Web Analytics中用戶(hù)界面的可用性，并展示了如何在右側的主面板中輕松查看左側所選步驟的詳細信息

Knowledge Advisor有何與眾不同之處？

許多第三方或內部OCAP解決方案缺乏多規程方法所需的“自動(dòng)化掛鉤”。例如，它們可能只與SPC應用一起工作，而缺乏從其他系統收集數據以幫助排除異常故障的能力。

然而，Knowledge Advisor可容納來(lái)自任何應用材料 E3?解決方案的數據，包括高級過(guò)程控制（APC）、SPC、FDC和配方管理（RM）。如圖4所示，該解決方案利用應用材料E3的全部功能，促進(jìn)從各種來(lái)源和AI功能收集數據。

圖4 Knowledge Advisor是唯一一套用于構建與SmartFactory E3系列完全集成的異常解決行動(dòng)計劃的解決方案

通過(guò)使用通用平臺，工程師可以更好地管理配方、設備、SPC和FDC違規。如果您將E3用于FDC或 SPC，那么擁有一個(gè)通用平臺可以為您減少跨CIM的管理點(diǎn)。

結論

在當今的晶圓廠(chǎng)中，人為錯誤是造成報廢和停機的最大原因。自動(dòng)化的成本必須對照回收和報廢的成本來(lái)考慮。因此，關(guān)鍵是衡量什么樣的自動(dòng)化水平適合保持具有競爭力的利潤率和對未來(lái)增長(cháng)的投資。Knowledge Advisor旨在為客戶(hù)提供具有成本效益的靈活性。憑借其集成和準確決策的能力，Knowledge Advisor使用戶(hù)能夠更有效地解決設備和流程故障。主要成果包括減少重復違規和錯誤決議、改進(jìn)審計合規、標準化錯誤處理活動(dòng)和減少信噪比管理的AI能力。

我們的SmartFactory自動(dòng)化解決方案已經(jīng)服務(wù)半導體行業(yè)超過(guò)30年，并在半導體工廠(chǎng)的各個(gè)方面都擁有一流的專(zhuān)業(yè)技術(shù)。