泛林集團虛擬工藝比賽 | 人類(lèi)工程師 vs. 人工智能

近期全球最具權威性的科學(xué)期刊Nature雜志發(fā)表了近150年來(lái)最激動(dòng)人心且極具突破性的研究：《改進(jìn)半導體工藝開(kāi)發(fā)的人機協(xié)作》，該文章由泛林集團九名研究人員合著(zhù)。

此前曾擔任泛林集團首席技術(shù)官的Rick Gottscho博士表示：“我們的研究是突破性的，使泛林集團脫穎而出、成為在工藝工程中應用數據科學(xué)的領(lǐng)導者?！?nbsp;

刊登在Nature雜志的這篇文章對比了人類(lèi)工程師與機器以最低目標成本（即最少的實(shí)驗次數）開(kāi)發(fā)半導體工藝的情況。為此，研究人員們創(chuàng )建了對比人類(lèi)和計算機算法表現的比賽，在比賽中雙方需要設計一個(gè)半導體制造工藝——高深寬比介電刻蝕。

結果表明，人類(lèi)工程師在工藝開(kāi)發(fā)的早期階段表現出色，而算法在目標的嚴格公差附近更具成本效益，這一洞察引出了“先人后機”的方法。相比由具有七年以上經(jīng)驗的專(zhuān)業(yè)工藝工程師獨自開(kāi)發(fā)工藝，“先人后機”可以將目標成本降低一半。 

該研究的重要性：對于如何使用人工智能徹底改變半導體行業(yè)的工藝開(kāi)發(fā)，由此實(shí)現節省數百萬(wàn)美元和無(wú)數的時(shí)間成本，泛林集團擁有可量化的證據。進(jìn)一步了解這項突破性的研究。 

1 阿伏伽德羅常量 

制造一個(gè)芯片，我們需要為它開(kāi)發(fā)專(zhuān)門(mén)的制造工藝。然而，每個(gè)工藝實(shí)驗可能都要花費幾分鐘至幾個(gè)小時(shí)，然后還需要幾個(gè)小時(shí)準備用于測量（度量）的樣品。對于那些涉及到刻蝕或填充高深寬比特征的最有挑戰性的應用，通常在第二天才能得到結果，而且一整批可能要花費幾千美元。按一年計算，這些步驟極其昂貴且耗時(shí)。 

十多年來(lái)，Rick Gottscho博士一直將這一工藝開(kāi)發(fā)中的問(wèn)題稱(chēng)為“泛林定律”（盡管這不僅僅是泛林的問(wèn)題），即在所有可能的配方組合中尋找最佳配方越來(lái)越具挑戰性。對“摩爾定律”說(shuō)法的借鑒也暗示了這個(gè)問(wèn)題正變得棘手，工程師在開(kāi)發(fā)晶圓工藝時(shí)可調整的排列組合數量已經(jīng)超過(guò)了100萬(wàn)億（即10^14），這是一個(gè)天文數字。 

l  隨著(zhù)晶圓工藝變得愈加復雜，現在排列組合的數量可能正在接近10^23（對于核心部分來(lái)說(shuō)正接近阿伏伽德羅常量的數量級）。 

Rick表示：“參數空間的排列組合數量已經(jīng)達到阿伏伽德羅常量的數量級，我們無(wú)法承擔測試其中的所有選項，這是不可能的。事實(shí)上，你甚至無(wú)法為大數據分析創(chuàng )建足夠的數據集。一百批實(shí)驗需要花費近50萬(wàn)美元和半年時(shí)間，而這在大數據世界中只是滄海一粟?！?nbsp;

2 虛擬比賽 

研究論文的主要作者、泛林集團首席技術(shù)官辦公室的資深技術(shù)總監Keren Kanarik回憶道：“多年來(lái)，數據科學(xué)家一直表示他們可以構建算法來(lái)幫忙解決‘泛林定律’并開(kāi)發(fā)可制造的工藝?！盞eren也曾是一名工藝工程師，她深刻理解工程師們的難題?！暗覀內绾沃肋@些程序優(yōu)于人類(lèi)呢？我們拿什么與這些程序作比較呢？基準在哪里呢？” 

正因如此，Keren萌生了進(jìn)行比賽的想法。她想到了Garry Kasparov和Deep Blue（深藍）之間那場(chǎng)著(zhù)名的國際象棋比賽，并認為我們的專(zhuān)業(yè)工藝工程師可以充當Garry的角色。不過(guò)，使用哪個(gè)工藝呢？  

l  在實(shí)驗室中進(jìn)行這項比賽是不切實(shí)際的，因為它花費的時(shí)間太長(cháng)、成本太高，而且會(huì )有太多變量影響研究結果。

l  Rick是Keren的上司，他建議進(jìn)行虛擬比賽，這樣無(wú)論多少玩家都能在同樣的工藝上進(jìn)行多次比賽。

l  繼2019年創(chuàng )建原型、并在2020年歷時(shí)三個(gè)多月創(chuàng )建出更加成熟的版本之后，虛擬刻蝕工藝誕生了。 

這個(gè)虛擬工藝可以讓人類(lèi)與算法之間進(jìn)行比賽，從而評估不同算法之間、算法與人類(lèi)工程師間的對抗。 

Keren解釋說(shuō)：“虛擬環(huán)境讓我們能完全掌控比賽，并實(shí)現系統化的評估?！?span style="font-family: 宋體;"> 

比賽中所用虛擬工藝的示意圖。虛擬工藝的輸入是控制等離子體與硅晶圓之間相互影響的“配方”。對于給定的配方，模擬器會(huì )輸出指標以及晶圓上輪廓的橫截面圖。目標輪廓與不符合預期的其他輪廓示例會(huì )一同進(jìn)行展示。比賽的目標是以最低的目標成本找到合適的配方。 

3 泛林得到了顛覆性的研究結果 

泛林的研究證實(shí)，只靠機器還不能完成專(zhuān)業(yè)工藝工程師的工作；如果機器和編寫(xiě)算法的數據科學(xué)家沒(méi)有任何專(zhuān)業(yè)工程師所提供的領(lǐng)域知識，機器遠遠不能打敗人類(lèi)。換句話(huà)說(shuō)，人類(lèi)工程師對于尋找晶圓工藝的正確配方仍然至關(guān)重要。 

但在特定條件下的人機協(xié)作中，計算機算法可以而且最終也確實(shí)打敗了人類(lèi)工程師。 

由論文中的“方法”定義的進(jìn)度追蹤器對軌跡進(jìn)行了監測。當進(jìn)度追蹤器顯示為0時(shí)，表示目標達成。高級工程師的軌跡標綠，初級工程師的軌跡標藍。圖中也特別突出了獲得比賽勝利的專(zhuān)家（即高級工程師 1）的軌跡，并標出“先人后機”策略中A到E幾個(gè)轉移點(diǎn)。 

泛林的研究結果指出了一條通過(guò)結合人機優(yōu)勢大幅降低目標成本的道路。文章的幾位作者總結道：“通過(guò)這個(gè)方法，我們將利用這些半導體工藝所推動(dòng)的計算能力，加速半導體生態(tài)系統中的一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節。實(shí)際上，就像著(zhù)名畫(huà)家埃舍爾的作品《互繪的手》，人工智能也將進(jìn)行自我創(chuàng )建?！?nbsp;

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