國產(chǎn)量測設備公司逐步取得突破

檢測和量測構成半導體制造的質(zhì)量控制環(huán)節。檢測和量測是半導體加工過(guò)程中的兩大質(zhì)量控制環(huán)節（以下統稱(chēng)“量檢測”）。應用于前道制程和先進(jìn)封裝的質(zhì)量控制根據工藝可細分為檢測（Inspection）和量測（Metrology）兩大環(huán)節。檢測指在晶圓表面上或電路結構中，檢測其是否出現異質(zhì)情況，如顆粒污染、表面劃傷、開(kāi)短路等對芯片工藝性能具有不良影響的特征性結構缺陷；量測指對被觀(guān)測的晶圓電路上的結構尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、關(guān)鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理性參數的量測。

量檢測設備全球市場(chǎng)空間較大。根據SEMI預測，2022年全球半導體前道制造設備市場(chǎng)銷(xiāo)售額預計為1010億美元。參照Gartner的統計，量檢測等工藝控制設備在半導體設備中占比為11%，我們預計2022年全球量檢測設備的市場(chǎng)規模為111億美元。假設中國大陸市場(chǎng)占全球比例為28%，則預計2022年中國大陸的量檢測設備市場(chǎng)規模在31億美元。

全球半導體檢測和量測設備市場(chǎng)呈現國外設備企業(yè)壟斷的格局。全球范圍內主要檢測和量測設備企業(yè)包括科磊半導體、應用材料、日立等?？评诎雽w一家獨大，根據VLSIResearch的統計，其在2020年全球檢測與量測設備的合計市場(chǎng)份額占比為50.8%。2020年，全球前五大公司合計市場(chǎng)份額占比超過(guò)了82.4%，均來(lái)自美國和日本，市場(chǎng)集中度較高。

量檢測設備國產(chǎn)化率很低，未來(lái)有較大國產(chǎn)化空間。目前國內主要的量檢測設備公司包括：中科飛測、上海精測、上海睿勵等，而這些公司的合計營(yíng)收體量占中國大陸半導體檢測和量測設備市場(chǎng)的份額較小，但呈現快速增長(cháng)趨勢。根據我們的測算，2021年，上述三家國產(chǎn)量檢測公司的半導體設備營(yíng)收為5.13億元，占中國大陸的市場(chǎng)份額為2.7%，顯示量檢測設備目前的國產(chǎn)化率很低，而未來(lái)的潛在國產(chǎn)化空間較大。

國產(chǎn)量檢測公司逐步取得突破。中科飛測的無(wú)圖形晶圓缺陷檢測設備和三維形貌量測設備已適用于2Xnm或以上制程工藝，套刻精度量測設備也有28nm以下產(chǎn)品在客戶(hù)產(chǎn)線(xiàn)驗證中。精測半導體布局了晶圓缺陷檢測、關(guān)鍵尺寸測量、膜厚測量、形貌量測等多個(gè)產(chǎn)品，其中明場(chǎng)檢測、OCD、電子束缺陷復查均在國內處于領(lǐng)先地位。睿勵科學(xué)儀器目前已有多臺光學(xué)膜厚測量設備和光學(xué)缺陷檢測設備出貨給國內客戶(hù)，其中睿勵的光學(xué)膜厚測量設備已應用于28nm及以上的芯片生產(chǎn)線(xiàn)中并在進(jìn)行14nm工藝驗證，而其光學(xué)缺陷檢測設備目前最高檢測精度達到100nm，并獲得多臺訂單。